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JXA-8530F PLUS 場發射電子探針顯發析儀

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產品特點

JXA-8530F PLUS 場發射電子探針顯發析儀,能保存或調用經常使用的各種不同類型的樣品分析條件,菜單中包括了全部的電子光學參數、EDS和WDS參數在內。

詳細介紹

JXA-8530F PLUS 場發射電子探針顯發析儀

可以安裝通用性強、使用方便的能譜儀X射線探測器,組合使用WDS和EDS,能提供無縫、舒適的分析環境。

 

產品規格:

檢測元素范圍

WDS:(Be)*1 /B~U, EDS:B~U

X射線檢測范圍

WDS檢測的波長范圍:  0.087~9.3nm,
EDS EDS檢測的能量范圍:  20keV

分光譜儀數量

WDS: 1~5道可選、EDS: 1臺

最大樣品尺寸

100mm × 100mm × 50mm(H)

加速電壓

0~30kV(以0.1 kV為步長)

束流電流范圍

10-12 ~ 10-5 A

束流電流穩定度

5%/h, ±0.3%/12h(W)

二次電子分辨率

6nm(W), 5nm(LaB6)*2
(W.D. 11mm, 30kV)

掃描倍率

×40 ~  ×300,000(W. D. 11mm)

掃描圖像分辨率

最大 5,120× 3,840

彩色顯示器

EPMA分析用: LCD 1,280 × 1,024
SEM操作、 EDS分析用:  LCD 1,280 × 1,024

光學顯微鏡


分辨率

~1um

焦深

1um

真空系統

機械泵、分子泵、離子泵                           *2

真空度

樣品室:  優于8.0 x 10-4Pa,
電子槍:  優于9.0 x 10-5Pa

 

產品特點:

· 可以安裝通用性強、使用方便的能譜儀X射線探測器,組合使用WDS和EDS,能提供無縫、舒適的分析環境。

· 日本電子新開發出的EPMA (電子探針)秉承近半個世紀的EPMA的發展歷史,JXA-8230具備用戶友好的操作、通過新式簡單易用的PC 用戶界面提供完整范圍的高精度、快速分析,這是JEOL長年來對高可靠性硬件不斷改良的結果。JXA-8230電子探針是下一代能完全滿足多種需求的QL分析工具之一。

· 

· EPMA快速啟動

· 點擊任何一點,就能開始預設的EDS定性、定量分析或WDS分析。

· 

 

· 用戶菜單(User recipes)

· 能保存或調用經常使用的各種不同類型的樣品分析條件,菜單中包括了全部的電子光學參數、EDS和WDS參數在內。

· 

· 

· EDS 的性能

· 數字化脈沖處理器

· 全譜面分布(WD/ED, 樣品臺和電子束掃描)

· 無風扇SDD (選配)

    


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