X射線能譜儀

進行成分分析時，一般有三種基本的工作方式，分別為：定點分析、線掃、面掃。根據不同的測試目的，可以選擇相應的分析模式。當測試樣品為非均質樣品時，可以使用線掃、面掃得到非常直觀的結果。主要用途：1.表面定性與定量分析。2.維持10um以下的空間分辨率元素成分包括化學態的深度分析。3.成像功能。4.可進行樣品的原位處理。