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離子束刻蝕系統

離子束刻蝕系統

也稱為離子銑,是指當定向高能離子向固體靶撞擊時,能量從入射離子轉移到固體表面原子上,如果固體表面原子間結合能低于入射離子能量時,固體表面原子就會被移開或從表面上被除掉。通常離子束刻蝕所用的離子來自惰性氣體。離子束最小直徑約10nm。目前聚焦離子束刻蝕的束斑可達100nm以下,最少的達到10nm,獲得最小線寬12nm的加工結果。
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