如何實現高精度晶圓尋邊/定位?
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晶圓在生產制作中，需要用機械手，頻繁地將晶圓在不同的載盤上取放，這就導致了晶圓移動到載臺上會存在晶圓定位不準、偏心，缺口方向不固定等問題，而LS系列產品可以有效解決晶圓定位問題。
1. 晶圓尋邊(Wafer Notch Check)
2．晶圓定位(Wafer Centering)
LS將通過旋轉機構和邊緣位置監測，記錄旋轉治具的中心和晶圓中心的差并以波形形式顯示。
3. 多方案選擇
標簽：高精度晶圓
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