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美國PMS LiQuilaz?液體粒子計數S系列

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產品特點

LiQuilaz? II 系列液體粒子計數器是體積式粒子計數器,有不同的靈敏度,高靈敏度的粒子計數器可監測小至0.2um的粒子。

詳細介紹

產品介紹:


靈敏度: S02: 0.2 - 2.0 μm, S03: 0.3 - 3.0 μm, S05: 0.5 - 20.0 μm


特點

  • 特點

  • 0.3 -3.0μm大小區間

  • 流量是80 ± 10% 毫升/分鐘

  • 和廣泛工藝化學品相兼容

  • 體積小巧,可以輕松安裝在制程的任何位置

  • 用戶可選擇的粒徑值

優點

  • 產量改進

  • 實時表征和分析粒子污染,對粒子污染的反應速度快

  • 全量監測,具有更高的監測精確度,適用于更嚴格的制程控制

  • 可選購的軟件具有報警設置、狀態顯示、采樣設置、在線支持等功能,便于制程控制

  • 支持廣泛的應用和流體

  • 配合壓縮或是注射采樣器使用

  • 和不同管道標準兼容

  • 嵌入、批次采樣能力

  • RS-485網絡兼容

  • 操作簡易

  • 體積小巧,可以輕松安裝在制程的任何位置

  • 靈活的軟件為實時或檢索數據提供了許多可見的選擇

  • 用戶可選擇的粒子大小范圍

應用

  • 使用壓縮采樣進行冒泡的化學品測量

  • 化學質量保證

  • 工藝槽監測

  • 去離子水監測

  • 化學品傳輸系統

  • 光刻膠監測


可用的配件

  • Facility Net軟件

    Facility Net軟件提供了一項全面環境監測的解決方案,包含實時的以及歷史數據顯示。兼容的PMS粒子計數器和分子污染監測器,以及各種第三方產品。

  • 液體安裝套件

    與在線應用一起使用,液體安裝套件包括一個 Flaretek?擴口工具,25英尺又1/4英寸氟烷氧基烷烴管子和陽螺紋接頭

  • 毛細管清潔套件

    毛細管清潔套件和Flaretek?適配器沖洗微細管并且包含:兩個10cc注射器以及兩個Flaretek?管子配件

  • 通信配件

    LiQuilaz粒子計數器通過RS-485協議進行通信,所以需要通信配件。根據配置,你可能需要2個電纜和一個 BB485轉換器。如果 LiQuilaz設備是菊鏈式(比如:串聯連接),一個九針串行電纜可以連接2個設備。如果電腦沒有一個九針串行端口,也需要一個USB串口轉換器

  • 腐蝕性液體采樣器安裝套件

    腐蝕性液體采樣器安裝套件包括:一個Flaretek?擴口工具,三個蓋子,25英尺又1/4英寸全氟烷氧基烷烴管子以及10英尺又1/4英寸聚酯流量管道


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