產品簡介

Magma磁場成像顯微鏡系統（簡稱Magma）是Neocera Magma公司研發的一種新型半導體失效分析工具。它擁有一套獨特的傳感器和技術，可以檢測和定位所有靜態缺陷。

Magma具有極大的可靠性，適用于探測開路、短路、漏電和高電阻開路的位置。此外，磁場成像可用于生成3D故障分析的深度信息，甚至可以用于多層器件。

在半導體失效分析領域，Magma可以定位微電子系統中的所有靜態缺陷（短路、漏電和開路）。它可以容納Die-level互連的300毫米晶圓、封裝的PC板、以及所有類型的封裝器件，包括各種具有異質集成的多芯片模塊器件、疊層器件、3DICs和SiP。

新型平臺的設計使用了終端用戶的輸入，以提供用戶友好型的設置和操作，以及更高的工作量和更低的運營成本。

基礎配置：配備高靈敏度的SQUID傳感器，用于低電流、無損檢測短路、漏電和高電阻開路。可實現低成本定位，用于檢測封裝器件和PC板中的短路及漏電。

 EFI工具：能夠以極高的精確度檢測失效的開路故障。

 HiRes工具：將兩個傳感器組合成一個工具。在靠近電流掃描時，SQUID傳感器用于檢測盡可能最小的電流，磁阻傳感器用于獲得空間分辨率。因此，其具有兩方面的優點：空間定位和靈敏度。

 儀器參數

產品應用

1、該儀器是一種雙磁傳感器系統，可以將SSM工具的性能擴展到模具(可以是全晶片，也可以是復雜的3D TSV或線焊設備)。該儀器使用非破壞性技術在模具、封裝和PC板層面創建設備當前圖像。然后，當前圖像可以與光學基準和設計數據結合使用，以定位三維靜態缺陷。

2、該儀器將超導量子干涉器件傳感器(SQUID)的高分辨率磁阻傳感器相結合。采用兩步方法，通過SQUID可以非常快速地映射設備內部電流產生的磁場，然后通過高分辨率傳感器再次進行高\精\度和分辨率的映射。由于在典型設備中使用的大多數材料都有磁場滲透，所以不需要對設備進行反處理就可以開始定位故障。

3、此外，兩個傳感器均只需要很小的電流，這樣可以保護被測設備免受進一步的損壞，并且可能是在嘗試檢測具有非常高電阻(100k ω)的電路故障時的選擇。

4、該儀器可以分析的典型故障包括短路、泄漏和電阻開啟。該系統可用于成像交流和/或直流磁場(同樣，電流)取決于設備的要求。