THz太赫茲掃描干涉儀，精度高，成本低，適合初步搭建實驗系統。

THz太赫茲掃描法布里-珀羅干涉儀（TSFPI）主要用于測量窄帶太赫茲輻射的波長和強度分布，同時也可用于脈沖和連續窄帶太赫茲輻射源。TSFPI由兩個半透明平行硅鏡組成，其中一個安裝在電機驅動的線性致動器上。通過反射鏡的平移（掃描）來測量太赫茲輻射參數，如圖1所示。

TSFPI可與如下太赫茲源結合使用：

■ 回旋管；

■ 光泵亞毫米波激光器；

■ 回波振蕩器；

■ 自由電子激光器；

■ 差頻太赫茲發生器；

■ 混頻太赫茲發生器；

■ 量子級聯激光器；

■ p-Ge激光器；

■ 其他新穎的太赫茲源。

THz太赫茲掃描法布里-珀羅干涉儀還能夠測量寬帶太赫茲源的波長和強度分布，以及根據法布里-珀羅干涉儀的透射光譜對太赫茲輻射進行濾波（圖2）。

TSFPI支持多種鏡像平移模式，例如將鏡像移動到給定位置、將鏡像移動給定距離、連續平移和循環平移。反射鏡平移速度、換檔間隔、起始和結束位置也可以調整。

圖3 顯示了由TSFPI進行光泵亞毫米波激光器的激光波長測量結果。從圖中可以看出，相鄰TSFPI傳輸Tmax之間的距離約為216μm（433μm–216μm=217μm；647μm–433μm=214μm；865μm–647μm=218μm），相當于激光波長的一半。該結果與理論TSFPI透射率Tmax一致：λ=2*d/m，其中d是TSFPI反射鏡之間的間距，單位為μm，m是干涉階數，λ是測量波長，單位為μm。

THz掃描干涉儀指標參數：

TSFPI包括如下組件：

•  TSFPI interferometer unit;

•  Power supply and control unit;

•  Mirror translation control software;

•  Cables;

•  User guide.

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