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FT-351系列高溫四探針電阻率測試儀

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產(chǎn)品特點(diǎn)

1.四探針測試儀匹配
2.集成系統(tǒng)
3.溫度達(dá)到1600度.
4.PC軟件實時數(shù)據(jù)處理及分析.
5.具有保護(hù)氣體功能.

詳細(xì)介紹

FT-351系列高溫四探針電阻率測試

一.概述:

采用四探針雙電組合測量方法測試方阻和電阻率系統(tǒng)與高溫箱結(jié)合配置高溫四探針測試探針治具與PC軟件對數(shù)據(jù)的處理和測量控制,解決半導(dǎo)體材料的電導(dǎo)率對溫度變化測量要求,軟件實時繪制出溫度與電阻,電阻率,電導(dǎo)率數(shù)據(jù)的變化曲線圖譜,及過程數(shù)據(jù)值的報表分析.

FT-351系列高溫四探針電阻率測試
二.適用行業(yè)::

用于:企業(yè)、高等院校、科研部門對導(dǎo)電陶瓷、硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率、測定硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導(dǎo)電玻璃(ITO)和其它導(dǎo)電薄膜等新材料方塊電阻、電阻率和電導(dǎo)率數(shù)據(jù).

雙電測四探針儀是運(yùn)用直線四探針雙位測量。設(shè)計參照單晶硅物理測試方法并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。

FT-351系列高溫四探針電阻率測試
三. 型號及參數(shù):

規(guī)格型號

FT-351A

FT-351B

FT-351C

1.方塊電阻范圍

10^-5~2×10^5Ω/□

10^-6~2×10^5Ω/□

10^-4~1×10^7Ω/□

2.電阻率范圍

10^-6~2×10^6Ω-cm

10^-7~2×10^6Ω-cm

10^-5~2×10^8Ω-cm

3.測試電流范圍

0.1μA.μA.0μA,100μA,1mA,10mA,100 mA

1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA

10mA ---200pA

4.電流精度

±0.1%讀數(shù)

±0.1讀數(shù)

±2%

5.電阻精度

≤0.3%

≤0.3%

≤10%

6.PC軟件界面

顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率

7.測試方式

雙電測量

8.四探針儀工作電源

AC 220V±10%.50Hz  <30W

9.誤差

≤3%(標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果

≤15%

10.溫度(選購)

常溫--200℃;400℃;600℃;800℃;1000℃;1200℃;1400℃;1600℃

11. 氣氛保護(hù)

(氣體客戶自備)

常用氣體如下:氦(He)、氖(Ne)、氬(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)、氡(Rn),均為無色、無臭、氣態(tài)的單原子分子

12.溫度精度

沖溫值:≤1-3℃;控溫精度:±1°C

13.升溫速度:

常溫開始400℃--800℃需要15分鐘;800℃-1200℃需要30分鐘;1400℃-1600℃需要250分鐘—300分鐘

14.PC軟件

測試PC軟件一套,USB通訊接口,軟件界面同步顯示、分析、保存和打印數(shù)據(jù)!

15.電極(探針)材料

標(biāo)配:鎢電極或鉬電極+電極(探針)陶瓷管 +高溫陶瓷樣品臺,1套.

16.探針間距

直線型探針,探針間距:4mm;

17.樣品要求

樣品長度要求≥13mm  樣品寬≥2mm或直徑≥13mm

18.高溫電源:

供電:400-1200℃ 電源220V,功率2-4KW;380V;1400℃-1600℃電源380V;功率4-6KW:

19.標(biāo)配外(選購):

a電腦和打印機(jī)1套;b.標(biāo)準(zhǔn)電阻1-5個;

c.S型鉑銠探針電極(溫度范圍:200-1300度);

d.B型鉑銠探針電極(溫度范圍:1400-1600度)




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