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微型高真空磁控濺射儀
- 品牌：北京博遠
- 型號： ETD-600MS
- 產地：北京
- 供應商報價：面議
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北京意力博通技術發展有限公司
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銷售范圍售全國
入駐年限第10年
營業執照
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詳細介紹
ETD-600MS微型磁控濺射儀是我公司研發生產的一款經濟實用袖珍型鍍膜設備，更適合各科研及教育機構實驗室的中試需求。
配置參數如下：
儀器尺寸：480mmWx320mmDx240H
工作腔室：硼硅酸鹽玻璃180mmDx200mmH
真空系統：渦輪分子泵，抽速為80L/s,前級機械泵抽速為2L/s帶防反油電磁閥及油污過濾器
真空測量：采用復合真空計檢測真空
極限真空度：優于5X10-4Pa
工作真空度：5X10-1Pa（濺射真空度手動調節）
濺射工作氣體：氬氣
工作電壓：0-800V
濺射電流：0-500mA
電源：230V/50Hz(包括泵最大電流為6安培）
靶材：D60-80mm多種弱磁靶
選配項：氣體質量流量計，冷水機，可根據用戶要求進行功能改裝
技術資料
滬公網安備 31011502008050號