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PROMETHEUS 流化床原子層沉積系統

粉末包覆可有效提升材料性能與使用壽命，如鋰電正極或負極材料，經過表面包覆處理后在放電性能及循環使用壽命方面都有明顯提升，但目前工業的包覆手段以機械混合的干法為主，該方法包覆均勻性較差，性能提升有限。ALD 技術可實現高精度及均勻包覆，是理想的包覆手段。Forge Nano 針對粉末類材料比表面積大的特點，采用流化床技術實現粉末材料的流化，從而保證前驅體與粉末實現充分的接觸。P 系列是 Forge Nano 針對工業包覆研發的粉末 ALD 負載系統，可實現 kg 級粉末批量包覆，是工業生產前最理想的研發工具。

產品規格

1. 前驅體通道：2-8 

2. 腔室容量：0-600ml

3. 反應器溫度：450℃

4. zui高工藝溫度：200℃

5. 振動流化床反應器

6. 模塊：流化輔助，質譜，臭氧發生器，等離子體發生器

產品特點

P 系列是 Forge Nano 專為粉末 ALD 開發的研發級工具，可輕松實現 kg 的粉末包覆。使用流化床技術可保證粉末在反應器中的分散，有利于前驅體擴散。

流化輔助

粉末在長時間存放或流化不充分時容易出現團聚，導致無法形成理想的流化態。因此利用流化輔助模塊，高剪切氣流以及振動反應器的設計可沖散團聚顆粒，確保分散效果。

分區加熱

所有前驅體源均可獨立加熱，保證最佳運輸條件，這對于部分低蒸汽壓的前驅體以及敏感的基底材料非常重要。P 系列也擁有獨特的閥門控制系統，可以實現多通道前驅體輸運。

在線監測

P 系列配置了氣體在線分析系統，對 ALD 工藝的改善有較大幫助，使用者可通過氣體成分判斷反應的完成度。

應用

鋰電池：鋰電正極或負極材料的包覆可有效提升其放電性能及使用壽命。常見的 NCM 與磷酸鐵鋰，在表面包覆 Al2O3 等氧化物薄膜后，在經過多次放電后，仍可保持較高的能量密度。

3D 打印：3D 打印粉末存在腐蝕及表面氧化的問題，會影響器件的性能。通過表面涂層改性，可有效延緩氧化及腐蝕。傳統的包覆方式是在器件表面進行 ALD 沉積，但對于 3D 打印粉末，直接對原材料粉末改性無疑是更有效的手段。

催化：催化反應大多數是發生在材料表面的界面反應，因此對于催化劑材料進行表面構筑改性是有效的性能提升手段。利用 ALD 可以直接在粉末，纖維材料表面生長高活性納米涂層，另一種方法是利用模板法結合 ALD 在表面構筑特定結構，暴露活性位點。此外，也可以在特定的顆粒表面進行表面包覆，防止催化劑燒結團聚。