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產(chǎn)品中心

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JEOL截面樣品拋光儀 IB-19520CCP

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JEOL截面樣品拋光儀 IB-19520CCP 核心參數(shù)
加速電壓 詳見資料 放大倍數(shù) 詳見資料
分辨率 詳見資料 抽真空時間 詳見資料
真空度 詳見資料

產(chǎn)品特點

JEOL截面樣品拋光儀IB-19520CCP ,在加工過程中利用液氮冷卻,能減輕離子束對樣品造成的熱損傷。冷卻持續(xù)時間長、液氮消耗少的構(gòu)造設(shè)計。在裝有液氮的情況下,也能將樣品快速冷卻、恢復(fù)到室溫,并且可以拆卸。配有傳送機(jī)構(gòu),在隔離空氣的環(huán)境下能完成從加工到觀察的全過程。

詳細(xì)介紹

IB-19520CCP 截面樣品拋光儀


IB-19520CCP在加工過程中利用液氮冷卻,能減輕離子束對樣品造成的熱損傷。冷卻持續(xù)時間長、液氮消耗少的構(gòu)造設(shè)計。在裝有液氮的情況下,也能將樣品快速冷卻、恢復(fù)到室溫,并且可以拆卸。配有傳送機(jī)構(gòu),在隔離空氣的環(huán)境下能完成從加工到觀察的全過程。


產(chǎn)品規(guī)格:

離子加速電壓

2 ~ 8 kV

離子束直徑

500 um( FWHM)

研磨速率

500 um(兩小時的平均值、8 kV、硅材質(zhì)換算、突出量:100 um)

樣品架冷卻達(dá)到的溫度

-120 ℃

樣品冷卻持續(xù)時間

8小時以上

制冷箱容量

約1升

承載樣品的最大尺寸

11mm(長) × 8mm(寬)× 3mm(厚)

樣品臺移動范圍

X軸:±6mm、Y軸:±2.5mm

固定樣品方法

夾式

樣品加工擺角

±30°

加工觀察用相機(jī)的倍率

約20~100倍(6.5寸顯示器上)
機(jī)械泵: 150 mm(寬) × 427 mm(長) × 230 mm(高)、約16 kg

空氣隔離系統(tǒng)

轉(zhuǎn)移艙

空氣隔離法

將艙內(nèi)設(shè)定成氬氣氣氛,蓋上轉(zhuǎn)移艙蓋子,將樣品封在艙里。

操作方法

觸控屏、6.5寸顯示器

使用氣體

氬氣(用質(zhì)量流量控制器控制流量)

壓力測試

潘寧真空計

主抽真空系統(tǒng)

渦輪分子泵

輔助抽真空系統(tǒng)

機(jī)械泵

尺寸、重量

主機(jī):約670mm (寬) × 720mm(長) × 530mm(高)、約73kg
機(jī)械泵:約150 mm (寬) × 430 mm(長) × 230 mm(高)、約16kg

選配件

大型旋轉(zhuǎn)樣品架(IB‐11550LSRH)、(IB‐11550LSRH) 
基座樣品架 (IB‐11560MBSH) 
大型樣品架(IB-11570LSH)  
噴碳樣品架(IB-12510CCH)

電源

單相100~120 V±10%、50/60 Hz、0.6 kVA

接地線

獨(dú)立地線(100 Ω以下)

氬氣

使用壓力:0.15±0.05 MPa(1.0 ~ 2.0 kg/cm2)
純度99.9999%以上(氬氣、氣瓶及調(diào)壓器由客戶自備)
金屬配管連接口:JISB0203 RC1/4

室溫

15~25 ℃

濕度

60%以下


產(chǎn)品特點:


★ 冷卻的效果  樣品:鍍鋅鋼板

· 可提供500μm/h(8KV/2小時的平均值)的研磨速率。

       

· ※ 通常加工(無冷卻)時,鐵和鋅的接合面上能夠觀察到間隙,而冷卻加工時則沒有間隙


· ★ 使用溫度控制系統(tǒng)(選配件)冷卻  樣品:硅晶片接合面  

             

· ※ 常規(guī)加工由于熱損傷造成粘合劑變形,出現(xiàn)了很大的間隙。 -150 ℃時,冷卻過度,能觀察到膠粘劑和硅晶片研磨面的接合面上出現(xiàn)了間隙,但通過溫度控制冷卻則沒有間隙。


· ★ 合理利用間歇加工、冷卻功能和溫度控制冷卻功能可支持各種樣品的制備

· 


· ★ 進(jìn)程監(jiān)控功能

· 截面加工狀態(tài)可通過CCD相機(jī)實時監(jiān)控,倍率還可調(diào)整。


· ★ 防止充放電的噴鍍功能

· 備有離子束濺射功能(選配項),可以噴涂顆粒感良好的薄涂層。最適合于象EBSD等需要花樣識別等情況。


· ★ 平面離子減薄樣品架

· 以小角度的離子束低角度照射樣品,達(dá)到清除表面污垢、平滑表面等效果。另外也非常適合于選擇性蝕刻。


· ★ 截面樣品制備單元

· 安裝在平面離子減薄樣品架上使用。該單元可用于在旋轉(zhuǎn)樣品的同時進(jìn)行離子束加工。可以用來制備象多孔質(zhì)材料、粉末、纖維等容易出現(xiàn)加工條紋的樣品的截面。



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