產品介紹：

Axio Imager.Vario具有寬大樣品空間，十分適合于半導體行業（比如太陽能電池、晶圓加工檢測、平板顯示器（FPD））成產的材料檢測、工藝研發，以及在線檢測。

技術參數
1、物鏡：5x、10x、20x、50x、100x（可選1.25x，2.5、150x，可選LD功能）。
2、目鏡：放大10x（可選16x、25x）；視場數23（可選25）。
3、物鏡自動聚焦最 大行程：5mm。
4、樣品空間深度（光軸到立柱的距離）；385mm。
5、載物臺行程：
   透反兩用手動載物臺，200mmX200mm移動范圍；
   反射光用手動載物臺，300mmX300mm移動范圍；
   透反兩用電動載物臺，200mmX200mm移動范圍；
   透反兩用電動載物臺，反射光用時300mmX300mm移動范圍，透射光用時200mmX200mm移動范圍。
6、顯微鏡模塊質量：17.5到20kg。
7、光源：12V100W鹵素燈，智能化光路管理器，光強色溫自動可調。
8、可擴展性：可選自動聚焦，可選透射光路。