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SMEE 500系列光刻機 —— IC后道先進封裝
- 品牌：上海品測
- 型號： SMEE 500
- 產地：上海 嘉定區
- 供應商報價：面議
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上海品測精密儀器有限公司
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銷售范圍售全國
入駐年限第5年
營業執照已審核
- 同類產品實驗室常用設備(15件)
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產品特點
- SSB500系列步進投影光刻機主要應用于200mm/300mm集成電路封裝領域，包括Flip Chip、Fan-In WLP、Fan-Out WLP和2.5D/3D等封裝形式，可滿足Bumping、RDL和TSV等制程的晶圓級光刻工藝需求。
詳細介紹
產品介紹：
SMEE 500系列光刻機 —— IC后道先進封裝
SSB500系列步進投影光刻機主要應用于200mm/300mm集成電路封裝領域，包括Flip Chip、Fan-In WLP、Fan-Out WLP和2.5D/3D等封裝形式，可滿足Bumping、RDL和TSV等制程的晶圓級光刻工藝需求。
產品特征
● 出色的污染防護
● 工藝適應性強
主要技術參數
型號
SSB500/40
SSB500/50
分辨率
2微米
1微米
曝光光源
ghi-line/gh
line/i-line mercury lamp
ghi-line/gh
line/i-line mercury lamp
背面對準
IR or visible light backside alignment Wafer edge exposure
IR or visible light backside alignment Wafer edge exposure
硅片尺寸
200mm或300mm
200mm或300mm
滬公網安備 31011502008050號