產品介紹：

VacIon Plus 300 L/s 離子泵體積與重量適中，可提供較高抽速，用于需要達到超高和極高真空條件的實驗室。

該離子泵具有三種元件類型。二極離子泵元件適用于通用的 UHV 和 XHV 應用，在此應用中氫氣抽速至關重要，系統很少排氣或發生空氣泄漏。三極離子泵適可處理大量惰性氣體（優于改進型二極離子泵更好）和氫氣（與二極離子泵相當）。三極離子泵對甲烷、氬氣和氦氣同樣具有最 高的抽速和容量。改進型二極離子泵元件適用于需要抽除殘留氬氣和其他惰性氣體的通用 UHV 和 XHV 應用。

特性

工作原理

二極離子泵元件技術

二極離子泵由一個帶正電的陽極環元件和一個帶負電的鈦 (Ti) 陰極組成，它們浸沒在磁場中，使電子在生成的等離子體中撞擊周圍的氣體分子，從而產生正離子。較輕離子 (H2/He) 向陰極加速，穿透 Ti 層，而較重離子撞擊陰極，使 Ti 濺射，并覆蓋陽極環內表面。H2、N2 和 O2 等可吸收氣體將與捕獲的 Ti 發生反應。濺射和吸收效應與二極離子泵的抽氣效應同步。

三極離子泵元件技術

陰極無法捕獲惰性氣體（如氬氣），因此必須將它們傳輸到陽極進行泵送。這些原子有兩種傳輸方式：使用較重的陰極材料（鉭）或不同的幾何形狀（三極泵）。三極離子泵由安捷倫（原瓦里安）基于改進的陰極幾何結構發明。星形陰極增加了惰性氣體作為高能中性粒子傳輸的概率，而鈦陰極可確保為 XHV 范圍內的殘留氣體 H2 提供高抽速。

SEM 陽極設計

由于泵產生的離子流與真空度成正比，在許多應用（如掃描電子顯微鏡 (SEM)）中，離子泵可用作真空計。由于泄漏電流會與離子流疊加，因此需要將其盡可能降低。為了降低泄漏電流，安捷倫申請了一項陽極設計專利，該設計減少了空體積、尖銳邊緣和金屬“晶須”。這些預防措施有助于保持極低的泄漏電流，確保更好的壓力讀數。