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荷蘭ISTEQ公司TEUS系列EUV光源

品牌：屹持光電
型號(hào)： TEUS S-100
產(chǎn)地：上海閔行區(qū)
供應(yīng)商報(bào)價(jià)：￥100000

上海屹持光電技術(shù)有限公司更新時(shí)間：2025-04-29 16:26:51

銷售范圍售全國

入駐年限第10年

營業(yè)執(zhí)照已審核

同類產(chǎn)品光源(15件)

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產(chǎn)品特點(diǎn)

ISTEQ公司開發(fā)了一種基于激光產(chǎn)生等離子體（LPP）的EUV光源。該光源具有極高的亮度和極高的穩(wěn)定性。它采用可自刷新的材料，無需中斷和更換燃料盒，因此持續(xù)運(yùn)行時(shí)間極長。
ISTEQ公司為LPP光源開發(fā)的燃料是針對(duì)特定應(yīng)用的光譜范圍而設(shè)計(jì)的。然而，對(duì)于掩模檢查的應(yīng)用，公司開發(fā)了一種高頻錫旋轉(zhuǎn)靶，已在quan球范圍內(nèi)獲得專li。

詳細(xì)介紹

?荷蘭ISTEQ公司TEUS系列EUV光源

產(chǎn)品介紹：

ISTEQ公司開發(fā)了一種基于激光產(chǎn)生等離子體（LPP）的EUV光源。該光源具有極高的亮度和極高的穩(wěn)定性。它采用可自刷新的材料，無需中斷和更換燃料盒，因此持續(xù)運(yùn)行時(shí)間極長。

ISTEQ公司為LPP光源開發(fā)的燃料是針對(duì)特定應(yīng)用的光譜范圍而設(shè)計(jì)的。然而，對(duì)于掩模檢查的應(yīng)用，公司開發(fā)了一種高頻錫旋轉(zhuǎn)靶，已在quan球范圍內(nèi)獲得專li。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

·高亮度以及出色的穩(wěn)定性

·最少的碎片

·極高的正常運(yùn)行時(shí)間

·高占空比和交鑰匙操作

·用戶友好的自動(dòng)化協(xié)議，確保系統(tǒng)平穩(wěn)運(yùn)行，沒有中斷的風(fēng)險(xiǎn)。

產(chǎn)品應(yīng)用：

·掩模和表面檢查：

·圖案掩模檢測(cè) (PMI)

·區(qū)域掩模檢測(cè) (AIMS)

·掩模空白檢測(cè) (MBI)

·EUV 掃描儀檢

·材料科學(xué)

·晶圓檢查

TEUS 系列激光等離子體光源

型號(hào)參數(shù)：

型號(hào)	TEUS S-100	TEUS S-200	TEUS S-400
激光平均功率W	100	200	400
脈沖重頻 kHz	25或70	50或135（可調(diào)）	100或200（可調(diào)）
EUV功率立體角 sr	0.05
等離子體尺寸 μm	≤ 60或 ≤ 40		≤ 60或 ≤ 45
帶內(nèi)輻射轉(zhuǎn)換效率(13.5 nm±1%)	2 % @2π·sr or 1.6% @2π·sr
碎片處理系統(tǒng)后角內(nèi)光通量mW	11 或 9	22 或 18	44 或 40
碎片處理系統(tǒng)后光譜亮度W/mm2·sr	≥ 80或 ≥ 140	≥ 160或 ≥ 280	≥ 310或 ≥ 500
等離子體穩(wěn)定性	3% rms
在24/7運(yùn)行狀態(tài)下，在不使用特殊膜過濾器情況下，收集器壽命下降10%	不少于8個(gè)月	不少于4個(gè)月	不少于2個(gè)月
在24/7運(yùn)行狀態(tài)下，使用特殊膜過濾器情況下，收集器壽命下降10%	不少于18個(gè)月	不少于9個(gè)月	不少于4個(gè)月
維護(hù)時(shí)間間隔	4 個(gè)月 - 1 天	3個(gè)月 - 2天	2個(gè)月 - 1天
24/7 運(yùn)行模式下的正常運(yùn)行時(shí)間***	4個(gè)月	3個(gè)月	1個(gè)月
電源	5 kW	8.5 kW	10.5 kW
尺寸（長×寬×高）mm	1500×1000×1200
重量，包括激光組件 kg	770
房間潔凈度等級(jí)	ISO 7
水流量	10升/分鐘	15升/分鐘	25升/分鐘