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半導(dǎo)體參數(shù)CV測試儀

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產(chǎn)品特點

普賽斯半導(dǎo)體功率器件C-V測試系統(tǒng)主要由源表、LCR表、矩陣開關(guān)和上位機軟件組成。LCR表支持的測量頻率范圍在0.1Hz~1MHz,源表(SMU)負(fù)責(zé)提供可調(diào)直流電壓偏置,通過矩陣開關(guān)加載在待測件上。半導(dǎo)體參數(shù)CV測試儀認(rèn)準(zhǔn)普賽斯儀表

詳細(xì)介紹

半導(dǎo)體參數(shù)CV測試儀概述

電容-電壓(C-V)測量廣泛用于半導(dǎo)體參數(shù)測試方面,尤其是MOS  CAP和MOSFET結(jié)構(gòu)。MOS(金屬-氧化物-半導(dǎo)體)結(jié)構(gòu)的電容是外加電壓的函數(shù),MOS電容隨外加電壓變化的曲線稱之為C-V曲線(簡稱C-V特性),C-V曲線測試可以方便的確定二氧化硅層厚度dox、襯底摻雜濃度N、氧化層中可動電荷面密度Q1、和固定電荷面密度Qfc等參數(shù)。

系統(tǒng)方案

普賽斯半導(dǎo)體功率器件C-V測試系統(tǒng)主要由源表、LCR表、矩陣開關(guān)和上位機軟件組成。LCR表支持的測量頻率范圍在0.1Hz~1MHz,源表(SMU)負(fù)責(zé)提供可調(diào)直流電壓偏置,通過矩陣開關(guān)加載在待測件上。

 CV測試系統(tǒng).jpg

進(jìn)行 C-V 測量時,通常在電容兩端施加直流偏壓,同時利用一個交流信號進(jìn)行測量。一般使用的交流信號頻率在10KHz  到1MHz之間。所加載的直流偏壓用作直流電壓掃描,掃描過程中測試待測器件待測器件的交流電壓和電流,從而計算出不同電壓下的電容值。

系統(tǒng)優(yōu)勢

    頻率范圍寬
  • 頻率范圍10Hz~1MHz連續(xù)頻率點可調(diào);                

  • 高精度、大動態(tài)范圍:提供0V~3500V偏壓范圍,精度0.1%;

    內(nèi)置CV測試:內(nèi)置自動化CV測試軟件,包含C-V(電容-電壓),C-T(電容-時間),C-F(電容-頻率)等多項測試測試功能;

    兼容IV測試:同時支持擊穿特性以及漏電流特性測試;

    實時曲線繪制:軟件界面直觀展示項目測試數(shù)據(jù)及曲線,便于監(jiān)控;

    擴(kuò)展性強系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計,可根據(jù)需求靈活搭配; 


基本參數(shù)

LCR

測試頻率

10Hz-1MHz

頻率輸出精確度

±0.01%

基本準(zhǔn)確度

±0.05%

AC測試信號準(zhǔn)位

10mV至2Vrms (1m Vrms      解析度)

DC測試信號準(zhǔn)位

10mV至2V (1m Vrms       解析度)

輸出阻抗

100Ω

量測范圍

|Z|, R, X

0.001mΩ–99.999MΩ

|Y|, G, B

0.1nS–99.999S

Cs、Cp

0.01pF – 9.9999F

Ls Lp

0.1nH–9.999kH

D

0.00001-9.9999

Q

0.1-9999.9

DCR

0.001mΩ–9.999MΩ

Δ%

-9999%-999%

θ

-180° -+180°



SMU

VGS范圍

0                                                                              -            ±30V(選配)

IGSS/IGES

≥10pA(選配)

VDS范圍

0                                                                              -               ±300V

0                                                                              -               ±1200V

0 - ±2200V

0 -                                                                        ±3500V

IDSS/ICES

≥10pA

≥1nA

源測精度

0.03%

0.1%

功能

測試方式

點測、圖形掃描

測試參數(shù)

DIODE:CJ、IR、VR

MOSFET:Ciss、Coss、Crss、Rg、IDSS、IGSS、BVDSS

IGBT:Cies、Coes、Cres、ICES、IGES、VBRCES

接口

RS232、LAN

編程協(xié)議

SCPI、LabView

 

軟件界面及功能

 CV測試界面.png

CV測試界面

 

CV測試曲線圖.jpg

CV曲線圖

半導(dǎo)體參數(shù)CV測試儀典型配置

源表

VGS/VGE

選配,S100/P100

VDS/VCE

標(biāo)配S300,可選P300/E100/E200/E300

LCR表

標(biāo)配10Hz~1MHz頻率,可選5MHz/10MHz

矩陣開關(guān)


上位機軟件


其他

三同軸電纜、LAN線

 


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