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美國Lake Shore CPX-VF低溫超導(dǎo)磁體探針臺

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產(chǎn)品特點

Lake Shore的CPX-VF探針臺增加了±2.5T的超導(dǎo)磁體,可以進行C-V、I-V、微波和電光探測,以及平面外垂直場超導(dǎo)磁測量。研究人員可以使用CPX-VF進行霍爾效應(yīng)測量和測試磁輸運參數(shù)。CPX-VF 是Lake Shore探針臺中結(jié)合微波和磁場測量的優(yōu)秀探針臺之一。

詳細介紹

產(chǎn)品介紹:

Lake Shore的CPX-VF探針臺增加了±2.5T的超導(dǎo)磁體,可以進行C-V、I-V、微波和電光探測,以及平面外垂直場超導(dǎo)磁測量。研究人員可以使用CPX-VF進行霍爾效應(yīng)測量和測試磁輸運參數(shù)。CPX-VF 是Lake Shore探針臺中結(jié)合微波和磁場測量的優(yōu)秀探針臺之一。

CPX-VF在直徑達51mm(2英寸)的晶圓上實現(xiàn)真正的90°晶圓探測。樣品可在冷卻過程中保持較高溫度,降低了樣品冷凝的可能性,這是測量有機材料的關(guān)鍵要求。

CPX-VF使用液氦或液氮進行連續(xù)流制冷(使用超導(dǎo)磁體時必須使用液氦),其操作溫度范圍為4.2 K到400 K,使用低溫選件可將基礎(chǔ)低溫擴展到2 K。


主要特征

√  溫度范圍4.3 K~400 K

√  可選低溫1.9 K

√  垂直磁場±2.5 T

√  最 大2英寸(51 mm)樣品

√  樣品可面內(nèi)±5°旋轉(zhuǎn)

√  樣品振動<30 nm可選

√  90°探針樣品測量

√  霍爾效應(yīng)測試選件

√  超高真空選件

√  可定制真空腔聯(lián)用轉(zhuǎn)移樣品,避免樣品暴露在大氣環(huán)境


主要參數(shù)及描述

磁場


磁體類型

超導(dǎo)螺線管

磁場方向

垂直方向(垂直于樣品面)

磁場控制

電流控制

磁場大小

最 大±25 KOe(±2.5 T)

磁場均勻性

0.5% 10 mm直徑;1% 25 mm直徑

探針針尖移動

<5μm 整個磁場范圍內(nèi)

溫度范圍


最 多配置6個探針臂

基礎(chǔ)溫度4.3 K,溫度控制范圍4.4 K ~ 400 K

安裝PS-LT低溫選件

基礎(chǔ)溫度1.9 K,溫度控制范圍2 K ~ 400 K

溫度穩(wěn)定性

液氦

基礎(chǔ)溫度 (無加熱控制)

±15 mK

<10 K

±50 mK

10 K ~ 100 K

±20 mK

101 K ~ 250 K

±15 mK

251 K ~ 350 K

±15 mK

351 K ~ 400 K

±50 mK

真空

以TPS-FRG分子泵為標(biāo)準(zhǔn)

PS-HV-CPX選件

抽真空時間

30 min (<1 × 10-3 Torr)

10 min (<1 × 10-3 Torr)

室溫

<5 × 10-4 Torr

<5 × 10-6 Torr

基礎(chǔ)溫度

<1 × 10-5 Torr

<5 × 10-7 Torr

最 高溫度

<5 × 10-5 Torr

<5 × 10-7 Torr

循環(huán)時間


總循環(huán)

4 h

抽真空

0.5 h

探針臺冷卻

2 h

探針臺升溫

1.5 h

樣品


最 大尺寸

51 mm(2英寸)

樣品背光接口

不可選

樣品旋轉(zhuǎn)

±5°樣品面內(nèi)旋轉(zhuǎn)

樣品振動

<300 nm(標(biāo)準(zhǔn)),<30 nm(配置減震選件PS-PVIS)

探針配置


最 大探針數(shù)

6

探針臂溫度計

用于監(jiān)視探針臂的溫度

冷卻探針支架

<20 K(樣品在基礎(chǔ)溫度下)

探針支架

連接磁體防輻射屏熱沉

探針臂支架

連接防輻射屏熱沉

DC/RF探針

電絕緣>100GΩ用于低漏電流測量

微波探針

頻率范圍從DC到67GHz

光纖探針

可用于電光測量

落針范圍

所有探針均可在直徑為 25.4 毫米(1 英寸)的圓內(nèi)落針


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