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中空壓電載物臺(tái)

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中空壓電載物臺(tái)特點(diǎn):
? 最小步伐尺寸約 20nm
? ZG速度10 mm/s
? 閉環(huán)傳感,空間分辨率1nm /2.44nm /4.88nm/10nm
? 支持無磁(NM) 、高真空(.HV) 和超高真空(.UHV) 選件
? 主體鋁合金(硬質(zhì)氧化發(fā)黑)
命名規(guī)則

中空壓電載物臺(tái)
選型表

型號(hào)

Carrier.L7550.XY

Carrier.L1010.XY

Carrier.R200

外形尺寸(mm)

250×200×30

250×250×40

200×200×24

主體材料

鋁合金

自重(g)

2333

4000

2000

運(yùn)動(dòng)行程(mm)

75×50

100×100

連續(xù)運(yùn)動(dòng)

最小安裝尺寸(mm)

325*250*30

350*250*40mm

200*200*24

通孔尺寸(mm)

85*65

120*120

60

ZD速度(mm/s)

– 15

– 10

/

最小步伐(nm)

~ 20

~ 20

/

重復(fù)定位精度

驅(qū)動(dòng)頻率

Max. 20 kHz

ZD負(fù)載(kg)

2

4

1

全行程俯仰/偏擺

/

位置傳感類型

/

位置傳感量程(mm)

75×50

100×100

300°

位置傳感分辨率

- 光柵尺傳感(.O ),10 nm(默認(rèn)); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可選

/

推薦使用溫度

15-40℃

尺寸圖

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