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大口徑高溫高壓芯片退火管式爐
- 品牌:康帕因
- 型號(hào): LFT1200C 450D254
- 產(chǎn)地:安徽 合肥
- 供應(yīng)商報(bào)價(jià):面議
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合肥康帕因設(shè)備技術(shù)有限公司
更新時(shí)間:2024-06-18 09:44:47
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銷售范圍售全國
入駐年限第5年
營業(yè)執(zhí)照已審核
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產(chǎn)品特點(diǎn)
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詳細(xì)介紹
產(chǎn)品簡介:
大口徑高溫高壓芯片退火管式爐設(shè)備用于較大尺寸(最大尺寸為8英寸)襯底退火處理,設(shè)備采用電阻絲為加熱元件,保溫材料為氧化鋁纖維爐膛真空吸附成型,保溫性能好,電阻絲為內(nèi)嵌式一體成型,美觀、節(jié)能;該設(shè)備還集成了真空以及供氣系統(tǒng),滿足更多工藝條件要求。采用耐高溫金屬管為高溫爐管,滿足高溫工作條件,也能滿足真空或者一定的正壓條件實(shí)驗(yàn)要求,是一款潔凈的大尺寸樣品熱處理設(shè)備。
技術(shù)參數(shù):
型號(hào)
LFT1200C 450D254
額定功率
13KW
額定電壓
380V
最高溫度
1000℃
額定溫度
900℃
推薦升溫速率
10℃/min
爐管尺寸
(可根據(jù)客戶要求訂制)
內(nèi)徑245*600mm(含管堵)
外型尺寸(長×深×高)
1900*700*2100mm
控溫精度
±1℃
極限真空度(選件)
1.0×10-3Pa(機(jī)械泵+分子泵)
加熱元件
OCr27Al7MO2(摻鉬鐵鉻鋁合金)
重量
490公斤
客戶自配裝空氣開關(guān)
40A
流量控制器技術(shù)參數(shù):
連接頭類型:Φ6雙卡套接頭
流量規(guī)格: (1000,1000,1000,1000,)sccm ,具體氣體量程 可根據(jù)工藝要求配置
準(zhǔn)確度:±1.5%
線性:±0.5~1.5%
重復(fù)精度:±0.2%
響應(yīng)時(shí)間:氣特性:1~4 Sec 電特性:10 Sec
工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa
耐壓:3MPa
輸入輸出信號(hào):0 V ~ +5.00 V(輸入阻抗大于100K,輸出電流不大于3mA)
電源:+15 V 50 mA -15V 200 mA
工作環(huán)境溫度:5 ℃ ~ 45 ℃
內(nèi)部尺寸 | 內(nèi)徑245*600mm(含管堵) | 穩(wěn)定性 | 控溫精度±1℃ |
最高溫度 | 1000℃ |