URE-2000/30D型（定制）紫外光刻機(jī)

1．技術(shù)參數(shù) ?

 曝光面積：4 英寸

曝光波長 1：365nm 或 405nm（可切換，更換濾光片）， 

曝光波長 2：248nm 

 曝光位置 1 和曝光位置 2 自動切換 

分辨力：0.8-1?m

 掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸（標(biāo)準(zhǔn)配置，其他尺寸可定做）

  樣片尺寸：直徑 Φ10mm-- Φ100mm 或者 15mm*15mm-100mm*100mm(標(biāo)準(zhǔn)配置，其他尺寸可定 做），可適應(yīng)厚度為 0.1mm--5mm(utmost可擴(kuò)展為 15mm) 

 曝光方式：定時（倒 計時方式）

 具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能 

 照明不均勻性：3%（Φ100mm 范圍） 

調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)

  數(shù)字設(shè)定對準(zhǔn)間隙和曝光間隙 

 掩模相對于樣片運動行程： X: 優(yōu)于±5mm; Y: 優(yōu)于±5mm;

優(yōu)于±6o 

 utmost焦厚：400um（SU8 膠，用戶提供檢測條件）

  光源平行性：＜3o

  曝光能量密度 1：＞20mW/cm2（365 或 405nm），照明面溫度<35o

  曝光能量密度 2：＞3mw/cm2（248nm） 

 單層曝光一鍵完成 

 采用球氣浮自動找平

  汞燈功率：350W（直流，進(jìn)口汞燈）

 2．外形尺寸：約 1400mm（長）*900mm(寬) *1800mm（高）  

3．配置 設(shè)備主要由均勻照明曝光系統(tǒng)、工件臺系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、氣動控制系統(tǒng)及輔助配套設(shè) 備構(gòu)成。