真空法蘭

• 真空法蘭材質為316不銹鋼制作

• 頂部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個1/4"軟管接頭的出氣口

• 底部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個1/4"軟管接頭的進氣口

• 法蘭是通過兩個硅膠O型圈進行密封，通過真空度可達10-2torr兩個法蘭都可以通過手動操作進行上下移動

• 一個數字式真空顯示計安裝在法蘭頂部，可精確測量腔體內真空度

（點擊圖片查看詳細資料）

混氣系統

可以選擇兩路的混氣系統于此款管式爐搭配使用（本公司生產多路浮子和多路質子混氣系統）

加熱元件和載樣臺

• 由兩組IR紅外燈管進行加熱

• 額定功率800W總功率：1600W

• 為了減小熱輻射和達到快速冷卻的效果，加熱元件被嵌在水冷機構上

• 一個3"的基片載樣臺安裝腔體頂部

• 緊貼頂部加熱元件上安裝有一氮化鋁基片（3"Diax0.5mmThick），使其儀器使用時樣品基片上的溫度更加均勻

• 3"的石墨坩堝可以放在底部加熱元件上來盛裝蒸發料
  

熱電偶

兩個K型熱電偶分別安裝在上下法蘭上

溫控系統

• 兩個控溫系統都為PID30段程序化控溫

• 可以選購PC控溫軟件，將溫度程序設置和溫度曲線導入電腦中

工作溫度

• 兩個加熱區域單獨工作的最高溫度：<=650oC

• 兩個加熱區域最大溫差:<=350oC

加熱和冷卻速率

• 加熱速率:>8oC/S

• 冷卻速率:>10oC/S(600-100oC)

電源

208-240VAC,單相,（需20A的空氣開關）

可選配件

本公司出售真空泵和水冷系統

質保期

一年質保期終身維護 (不包括爐管、密封圈和加熱元件損耗件)

CE