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薄膜熱電參數測試系統（MRS）
- 品牌：武漢嘉儀通
- 型號： MRS
- 產地：湖北 武漢
- 供應商報價：面議
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武漢嘉儀通科技有限公司
更新時間：2019-07-10 15:47:44 -
銷售范圍售全國
入駐年限第7年
營業執照已審核
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產品特點
- 薄膜熱電參數測試系統是專門針對薄膜材料的Seebeck系數和電阻率測量，測溫范圍達到81K~700K，采用動態法測量Seebeck系數,避免了靜態測量在溫差測量上的系統誤差,測量更準確。
詳細介紹
薄膜熱電參數測試系統產品特點
專門針對薄膜材料的Seebeck系數和電阻率測量。
測試環境溫度范圍達到81K~700K。
采用動態法測量Seebeck系數，避免了靜態測量在溫差測量上的系統誤差，測量更準確。
采用四線法測量電阻率。
熱電偶探針經過嚴格的篩選配對保證測試結果的準確和穩定。
軟件操作簡單，智能化可實現全自動模式。
薄膜熱電參數測試系統技術參數
型號
MRS-3
MRS-3RT
環境溫度
81K~700K
RT
溫控方式
PID程序控制
\
真空度
≤ 1Pa
\
測試氣氛
真空
空氣
測量范圍
澤貝克系數：S ≥ 8μV/K； 電阻率：0.1μΩ?m ~ 1000KμΩ?m
分辨率
澤貝克系數：0.05μV/K； 電阻率：0.05μΩ?m
相對誤差
澤貝克系數 ≤ 7%，電阻率 ≤ 5%
測量模式
自動
樣品尺寸
長 x 寬:(10~18)x(4~14)mm2,薄膜厚度≥50nm
主機尺寸
采集箱：470x400x140，單位mm
變溫裝置：直徑x高 460x800mm170x250x220，單位mm
重量
31.9kg
3.5kg
薄膜熱電參數測試系統樣品要求
樣品滿足上述樣品尺寸，待測面需平整，薄膜均勻性好，保證與銅片接觸良好
薄膜材料厚度zuidi可至100nm，其均勻性有較高要求，薄膜厚度達到微米級別較好
薄膜材料的襯底需選擇電阻率較大或絕緣材料為宜，如玻璃、Si等材料
薄膜熱電參數測試系統技術原理
動態法：測量Seebeck系數
在待測溫場下給樣品兩端加一個連續變化的微小溫差，通過記錄樣品兩端溫差和熱電勢的變化，然后將溫差和熱電勢擬合成一條直線，直線斜率即為該材料在該溫場下的Seebeck系數。
采用四線法測量電阻率。
薄膜熱電參數測試系統測試實例
標準鎳帶測試結果
東華大學MoS2測試結果
MRS-3對Bi2Te3薄膜測試結果（ZG科學院電工研究所提供樣品）
MRS-3對Bi2Te3薄膜測試結果（ZG科學院電工研究所提供樣品）
滬公網安備 31011502008050號