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AEROTECH不銹鋼精密氣體減壓器Pa-1L

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AEROTECH不銹鋼精密氣體減壓器Pa-1L 核心參數(shù)
最大輸入壓力 2MPa 最大輸出壓力 0~0.99MPa
環(huán)境溫度 -10~+70℃

產(chǎn)品特點

Pα-1L精密氣體減壓器。單級膜片式設計;低壓輸入,低壓標準流量輸出,輸出壓力穩(wěn)定;適用于半導體高純氣體、低濃度毒性、低濃度腐蝕性、易燃易爆氣體等。標準流量20L/min。

詳細介紹

Pα-1L精密氣體減壓器。單級膜片式設計;低壓輸入,低壓標準流量輸出,輸出壓力穩(wěn)定;適用于半導體高純氣體、低濃度毒性、低濃度腐蝕性、易燃易爆氣體等。標準流量20L/min。


工作條件:

進口壓力2MPa
出口壓力0~0.99MPa
CV值0.06
爆破壓力30MPa
原壓變動

0.0004MPa

(入口壓力變化0.1MPa時,出口壓力的變化量)

溫度-10~+70℃
外漏率≤1×10-9Pa.M3/Sec.He
安裝方式前面板安裝,后面板安裝


產(chǎn)品特點:

柔性膜片結構,手柄特殊結構設計,調節(jié)順暢,輸出壓力精密到0.001MPa.流量損失小

單級式減壓,死體積小,便于吹掃

進口出口可以加裝其他附件

主要部件電解拋光處理,增加腐蝕性

內(nèi)置精密過濾器,保證氣體潔凈

超純水清洗


主要部件材料:

零部件名稱Part材料(Materials)
后蓋BonnetSUS316
閥體BodySUS316L
閥針PoppetSUS316L
膜片DiaphragmSUS316L
密封墊SeatPTFE、PCTFE或PEEK


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