紫外臭氧清洗，去除無機基 材料（如：石英、硅片、金、鎳、 鋁、砷化鎵，氧化鋁等）上的有 機污染物；特別是當基材和薄膜蒸鍍需要很好的粘接時，紫外清洗非常理想。要獲得超潔凈的表 面，只需在傳統清洗之后，再用 紫外臭氧清洗幾分鐘就可以。

不銹鋼結構箱體

應用說明

? 表面的原子級清洗                                           
?去除有機分子
?紫外光固化、表面化學改性
?聚合物粘接、金屬粘結準備
?微流控制作、微米/納米構型
?表面殺菌、表面氧化
?釋放捕獲的無機分子
?快速－大多數應用10分鐘內可完成
 

臭氧控制系統：
   

 紫外臭氧清洗工作原理

 UVO清洗設備的核心是低壓石英汞燈，產生254和185nm范圍的紫外線。臭氧和 等離子氧氣產生，有機污染物分子在吸收254nm波長紫外線后被激發或分解；激發的 有機污染物可以和等離子氧原子反應形成氣體，比如CO?,等。整個過程在室溫發 生，并且只需要1到幾分鐘完成。

紫外光處理表達方式：

紫外臭氧清洗可以去除？
皮膚油脂，有機硅油和油脂，助焊劑，殘留的光刻膠，膠水溶劑，碳等。

怎樣說是“超”潔凈？
接觸角測量方法4-5度。適用AES和ESCA測量細微的峰值。使用蒸汽測試，在冷凝 和蒸發時形成一致的彩虹裝的條紋。

應用說明

*注1：白色氧化鋁暴露在UV能量下會變黃，這種現象是由于基材吸收UV能量， 而不是一種涂 層。這種氧化鋁在

加熱情況下會轉化為他原來的顏色。
**注2：清洗元件溫度的上升取決清洗過程的時間長度。在大多數應用，元件溫度可以視為室溫。
    

設備技術參數