控制系統

半自動型

PCCE 控制系統 (MicrosoftWindows CE)

PC 控制系統 (Microsoft Windows POS Ready 2009)

體積

4~15L

真空腔室

圓形不銹鋼件，配有蓋子
（大約Φ 150 mm, 長 320 mm 或者長 600 mm）或者

矩形不銹鋼件，配有鉸鏈的門
（約寬 160 mm x 高 160 mm x 深 325 mm 或者 600 mm）

配有蓋子的圓形鋁材，或者配有鉸鏈的門
（大約Φ 130 mm, 長 300 mm 或者長 600 mm）

配有蓋子的圓形石英玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門
（大約Φ 130 mm, 長 300 mm 或者長 600 mm）

配有蓋子的圓形硼硅玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門
（大約Φ 130 mm, 長 300 mm 或者長 600 mm）

電極

單層或多層

RIE

樣品支架

（選項：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末轉鼓、散裝件轉鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃

氣源

針型閥

質量流量控制器 (MFCs)

壓力計

Pirani

Baratron（適用于腐蝕性氣體版本）

計時器

數字型

高頻電流發生器

40 kHz: 功率 0 - 200 W；0 -1000 W

13.56 MHz: 功率 0 - 50 W；0 - 100 W；0 - 300 W

2.45 GHz: 功率 0 - 300 W

所有發生器均為 0 - 100% 無級可調型

真空泵

KASHIYAMA

電源

臺式設備為 230 V，立式設備為 400 V/3 相位