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高性能機架式分析儀OA-ICOSTM

品牌：ABB
型號： OA-ICOSTM工
產地：美洲美國
供應商報價：面議

上海澤泉科技股份有限公司更新時間：2025-04-03 11:42:23

銷售范圍售全國

入駐年限第10年

營業執照已審核

同類產品半導體與微電子(4件)

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產品特點

OA-ICOSTM工業痕量氣體分析儀旨在以優異的靈敏度、準確度、精密度和響應時間，滿足客戶的苛刻要求。它簡單易用，可在幾分鐘內啟動，無需現場校準，并且只需極少的預防性維護。

詳細介紹

一、產品功能

該系列氣體分析儀非常適用于：

1. 空氣分子污染(AMC)監測：用于確保半導體晶圓廠(FAB)工藝和人員的健康安全

2. 前開式晶圓傳送盒(FOUP)和氣相沉積室監測

與傳統的光腔衰蕩光譜技術相比，離軸1COS技術具有諸多優勢，例如：更加可靠耐用、更短測量時間、使用的光腔和反射鏡可現場維修。

所有ABB儀器均內置計算機(采用Liux操作系統)，該計算機會將每次分析的結果和相關指標存儲在內部硬盤上，從而實現無需人員值守的長期運行。相關數據則可以通過模擬、數字(RS232)和ModbusTM1的輸出方式源源不斷地導出。此外，這系列儀器還可以通過互聯網遠程控制，用戶無需身處現場，就可以控制儀器、從儀器中獲取數據，以及對儀器進行診斷。該系列儀器還可以保存所測氣體的完整光譜，用于故障排除，甚至在過程發生意外變動后，遠程優化分析儀。

二、產品優勢

1. 支持HF、HCI、NH3的單氣體或多氣體配置

2. 提供高精度、準確的H,O測量結果

3. 提供0-5V和4-20mA模擬輸出（標配），以及Modbus TCP（選購）

4. 優化數據處理，在測量亞ppb級別濃度時，實現優異性能

5. 提供觸控數字顯示屏，顯示氣體濃度和分析儀的狀態

6. 提供主要密碼保護，確保分析儀和數據安全

7. 經過優化的零氣性能，以可靠地確認過程事件

8. 提供可定制的校準套件和性能認證文件包

9. 堅固耐用；所需的維護工作很少并且花費較低

10. 可輕松更換長期受到污染的部件（過濾器）和正常老化部件（泵隔膜）

11. 服務工程師可現場診斷并更換其他大多數部件

12. 鏡面清潔可現場進行，無需在工廠費時維修

三、技術參數

GLA231-EAA

項目（氣體）	NH3	H2O
精度(1σ)	<1ppb(1秒) <0.3ppb(10秒) <0.1ppb(100秒)	<50ppm(1秒) <20ppm(10秒) <10ppm(100秒)
檢測限(LOD)	0.3ppb(100秒)	50ppm(100秒)
準確性*	±0.3ppb，或讀數的5%，以較高者為準	>7,000ppm =1%FSD
不同分析儀的結果差異(相對于平均值，10秒)	±0.4ppb，或讀數的5%，以較高者為準	≤1000ppm =±10%
線性測量范圍	高達10,000ppb	高達30,000ppm
樣品流量(lpm)	1.4-2.4
響應時間（T90，T10）	10秒

GLA231-HFHC HF

項目（氣體）	HCL**	HF	H2O
精度(1σ)	<0.3ppb(1秒) <0.1ppb(10秒) <0.035ppb(100秒)	<0.1ppb(1秒) <0.05ppb(10秒) <0.025ppb(100秒)	<25ppm(1秒) <10ppm(10秒) <5ppm(100秒)
檢測限(LOD)	0.1ppb(100秒)	0.075ppm(100秒)	25ppm(100秒)
準確性*	±0.15ppb，或讀數的5%，以較高者為準	±0.1ppb，或讀數的5%，以較高者為準	>7,000ppm =1%FSD
不同分析儀的結果差異(相對于平均值，10秒)	±0.2ppb，或讀數的5%，以較高者為準	±0.2ppb，或讀數的5%，以較高者為準	≤1000ppm =±10%
線性測量范圍	高達2,000ppb	高達2,000ppb	高達30,000ppm
樣品流量(lpm)	1.1-1.9
響應時間（T90，T10）	25秒	25秒