儀器特點

材料的熱物理性質以及產品的傳熱優化在工業應用領域變得越來越重要。

　 經過幾十年的發展，閃射法已經成為最常用的用于各種固體、粉末和液體熱導率、熱擴散系數的測量方法。

薄膜熱物性在工業產品中正變得越來越重要，如：相變光盤介質、熱電材料、發光二極管（LED ） ，相變存儲器、平板顯示器以及各種半導體。在這些工業領域中，特定功能沉積膜生長在基底上以實現器件的特殊功能。由于薄膜的物理性質與塊體材料不同，在許多應用中需要專門測定薄膜的參數。

　 基于已實現的激光閃射技術，LINSEIS TF-LFA 薄膜激光導熱測量儀(Laserflash for thin films)可以測量80nm20μm厚度薄膜的熱物理性質。

1、瞬態熱反射法（后加熱前檢測（RF）） ：

由于薄膜材料的物理性質與塊體材料顯著不同，必需要有相應的技術來克服傳統激光閃射法的不足，即瞬態激光閃射法。

尺寸測量方法與傳統激光閃射法相同：檢測器和激光器在樣品兩側。考慮到紅外探測器測試薄膜太慢是，檢測是通過所謂的熱反射方法完成的。該技術的原理是材料在加熱時，表面反射的變化可用于推導出熱性能。測量反射率隨時間的變化，得到的數據代入包含的系數模型里面并快速計算出熱性能。

2、時域熱反射法（前加熱前檢測（FF） ） ：

時域熱反射技術是另一種測試薄層或薄膜熱性能（熱導率，熱擴散率）的方法。測量方式的幾何構造被稱為“前加熱前檢測（FF） ”，因為檢測器和激光在樣品上的同一側。該方法可以應用于非透明基板上的薄膜層，這種薄膜層不適合使用RF技術。

3、瞬態熱反射法（RF）和時域熱反射法（FF）相結合：

兩種方法可以集成在一個系統中并實現兩者優點的結合。

技術參數