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激光干涉薄厚測量儀

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激光干涉薄厚測量儀

所屬類別: ? 光學/激光測量設備 ? 偏振態測量儀
所屬品牌:韓國Nanobase公司



產品簡介


Xper-IP激光干涉膜厚測量儀

Xper-IP是基于Nanobase公司特有的光譜干涉技術的一款膜厚測量儀,是一種非接觸式、無損的、精確且快速的光學薄膜厚度測量設備。Xper-IP可用于測量各種材料(如各種薄膜,鍍膜,顯示面板等)的厚度。


薄膜測厚儀,激光干涉儀,膜厚測量儀,激光干涉薄膜測量系統




韓國Nanobase公司是一家專注于激光和光譜測量領域的高科技公司,旗下有多種產品,包括拉曼光譜成像系統,OCT光學相干斷層掃描系統,可調諧激光器和激光干涉薄厚測量儀


Xper-IP正是基于Nanobase特有的光譜干涉技術的一款膜厚測量儀,是一種非接觸式、無損的、精確且快速的光學薄膜厚度測量設備。Xper-IP可用于測量各種材料(如各種薄膜,鍍膜,顯示面板等)的厚度,產品具有以下特點:



精度 ±0.2 %

重復準度 ±0.003 %

超寬測量范圍 10 mm to 1 mm
人性化軟件,易于使用

性價比高

同時測量多層膜厚

結構堅固,適用于實驗室和工業環境


參數


型號

Xper-ITP(激光干涉測厚)

Xper-ISP(激光干涉測表面形貌)

測量范圍

100-1000微米,200-2000微米,(或者定制波長范圍,與光譜儀分辨率成反比)

準確度

±0.2 %

重復性

單點:0.01% full range<100nm

平均:0.003% full range<30nm

速度

激光:標準30pps,(最大100000pps

光源

激光:SLD(840nm)


應用領域


半導體,太陽能,SiC Coat, Si Coat, Polished Si, Optical disk




平板顯示Cell gap, Glass thickness, DLC, Highfunction film


光學薄膜,醫用聚合物材料等,AR film, PET, Coating layer, Coating film, Evaporation film, Functionality film, Acrylic resin, Video head, etc.



測量原理




原理圖




示例



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技術資料

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