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合肥科晶1200℃多坩堝依次移動型管式爐

品牌：合肥科晶
型號： OTF-1200X-II-ZL
產(chǎn)地：安徽合肥
供應(yīng)商報價：￥999999

上海添時科學(xué)儀器有限公司更新時間：2020-09-23 11:05:57

銷售范圍售全國

入駐年限第10年

營業(yè)執(zhí)照已審核

同類產(chǎn)品管式爐(4件)

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合肥科晶1200℃多坩堝依次移動型管式爐核心參數(shù)

內(nèi)部尺寸	2400L×600W×1300mm H	穩(wěn)定性	高
最高溫度	1200℃（<1hr)

產(chǎn)品特點

OTF-1200X-II-ZL是一款爐管可在爐管內(nèi)部移動的(在真空氣氛保護環(huán)境下移動)管式爐，zui多可依次移動4個坩堝。特殊的坩堝推送機構(gòu)，可將坩堝在爐管內(nèi)推出后再拉回，讓坩堝能做往返移動。坩堝移動位置&爐體的溫度控制都采用一觸摸屏控制。此款設(shè)備可進行物理化學(xué)混合沉積(HPCVD)，快速熱蒸發(fā)(RT E)等實驗，特別適合制備多層二維晶體材料。

詳細(xì)介紹

1200℃多坩堝依次移動型管式爐產(chǎn)品介紹：

OTF-1200X-II-ZL是一款爐管可在爐管內(nèi)部移動的(在真空氣氛保護環(huán)境下移動)管式爐，最多可依次移動4個坩堝。特殊的坩堝推送機構(gòu)，可將坩堝在爐管內(nèi)推出后再拉回，讓坩堝能做往返移動。坩堝移動位置&爐體的溫度控制都采用一觸摸屏控制。此款設(shè)備可進行物理化學(xué)混合沉積(HPCVD)，快速熱蒸發(fā)(RT E)等實驗，特別適合制備多層二維晶體材料。

1200℃多坩堝依次移動型管式爐技術(shù)參數(shù)

開啟式管式爐

雙溫區(qū)管式爐：兩個獨立的溫控系統(tǒng)分別獨立控制兩個溫區(qū)
加熱區(qū)長度：溫區(qū)1:200mm, 溫區(qū)2:200mm
爐管材料：高純石英
爐管尺寸：外徑: 60 ×內(nèi)徑: 54×長: 760 mm
最高工作溫度：1200℃（<1hr)
連續(xù)工作溫度：1100℃
控溫精度：+/-1℃

真空密封

配有不銹鋼密封法蘭，上面安裝有不銹鋼截止閥和機械壓力表
進氣端法蘭接口為Φ6.35卡套接頭，出氣端法蘭接口為KF25接口
法蘭密封圈采用水冷卻，使用時需要通入冷卻水，可在本公司選購循環(huán)水冷機
真空度：10E-2 torr（采用機械泵），10-E5 torr(采用分子泵)

坩堝移動機構(gòu)（轉(zhuǎn)輪式法蘭）

一根鎧裝熱電偶通過左端法蘭通入到爐管內(nèi)部，并與坩堝相連接(圖1)
通過步進電機驅(qū)動使坩堝移動，并和熱電偶和坩堝一起移動，實時監(jiān)測樣品的溫度
進氣端法蘭轉(zhuǎn)輪式法蘭（圖2）
可同時在轉(zhuǎn)輪系統(tǒng)中放入4個坩堝，可交替將放入4種材料的石英坩堝自動送入到石英管中（可在真空狀態(tài)或氣氛保護狀態(tài)進行運作

坩堝移動控制

通過一步進電機控制坩堝移動的速度和位置
可控制坩堝最小移動位移為1mm
坩堝最大移動距離為200mm

防腐型數(shù)顯真空計

配有一數(shù)顯防腐型真空計
當(dāng)氣壓在10mbar以上時，不需因測量氣體種類不同而進行系數(shù)轉(zhuǎn)換
對于氣體的壓力檢測具有較高的精確度和重復(fù)性
因為傳感器上鍍有涂層，所以具有較好的抗腐蝕性
測量范圍：3.8x10-5 -1125 Torr

混氣系統(tǒng)

此套設(shè)備中配有一2路混氣系統(tǒng)
最大輸出功率：18W
工作溫度：5-45℃
最大氣壓：3×106Pa
精度：±1%FS
質(zhì)量流量計量程：
1:0-100sccm
2:1-199sccm
可根據(jù)客戶要求選購1-5路供氣系統(tǒng)

產(chǎn)品尺寸

2400L×600W×1300mm H

質(zhì)保

一年質(zhì)保期，終生維護（不包含爐管，密封圈和加熱元件）

使用注意事項

爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)
進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
石英管的長時間使用溫度＜1100℃
對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）