VertiSenseTM 掃描熱學顯微鏡通過使用特殊帶熱電偶的針尖，掃描樣品時，熱電偶的溫度，通過熱信號成像放大器，通過AFM處理，同時得到熱成像圖和形貌圖。可以得到定量溫度分布成像圖，和定性熱導率分布圖。針尖的設計，可以達到小于50nm的熱空間分辨率

1) 納米級精確的溫度測量；

2) 超高掃描熱性質的空間分辨率成像；

3）靈敏的溫度和熱導率響應；

4）支持多種掃描模式（輕敲，接觸，峰值力等模式）

掃描熱學針尖                                                                            系統參數

Thermal latency : ~100μsec (Low ThermalMass)                          Input:                 ± 10 mV

Sensor Type：Thermocouple at the tip Apex                                 Output range:          ± 10 V

Tip ROC :     50 nm                                                                         Signal Gain:           100x  to 10,000x

Lateral  Resolution:  <50 nm  in contact mode                               Noise:                 <1 nV @ 1 kHz bandwidth

Temperature Resolution:                                                                 Common-mode rejection:  High (>115 dB)

 (i)  0.1° C (@gain100);                                                                  Display:                  Real Time Tip Temperature

 (ii) 0.01° C (@gain1,000);                                                             Adjustable:           Thermocouple Calibration Range

Temperature Range:  up to 700° C

Thermal Band width:  up to 30kHz (@ gain 100)