儀器簡介：
BOCEdwardsEXT泵適用于除最苛刻的半導體應用和科學應用（這些領域可使用STP系列泵）以外的任何領域。STP系列泵使用電磁軸承，EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷軸承和磁軸承的組合形式。陶瓷軸承與傳統軸承相比具有更輕、更硬和更平穩的優點，以及壽命長、小振動的優點。由于軸承滾珠和軸承座使用了不同材料，防止了微小凹陷而提高可靠性。

技術參數：
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主要特點：
BOC Edwards EXT系列渦輪分子泵可以通過TIC控制器或EXC控制器控制。 TIC控制器將渦輪控制和儀器控制合二為一，使用起來更加方便。OEM或有電源的用戶可以使用EXC控制器在自己的系統中控制EXT渦輪，這可以降低成本。另外還具有如下優點：無油（渦輪分子泵不產生碳氫化合物污染）；低維護（無軸承接觸，無機械磨損）；低振動（比一般軸承的振動低一個數量級）；減少冷卻（對許多應用來說自然冷卻即可）；定位任意（可以安裝在任意位置）。