參數規格：

擴散泵
除非您觀察到與擴散泵油相關的故障，否則沒有必要在一年內換兩次擴散泵油。要檢查擴散泵油，必須先將 MSD 放空（5975/5973 除外）。因此，檢查泵油的**時機是為了進行其他維護而已經放空儀器真空時。

前級泵
前級泵中的油應該平均每六個月更換一次，但也可以根據應用情況決定更換。泵油更換后，如果有前級捕集器，則應更換分子篩。

避免接觸到泵油。某些樣品的殘留物可能有毒。用過的油要設當處置。