獨特的解決方案

Leica EM RES102是一款獨特的離子束研磨設備，帶有兩個鞍形場離子源，離子束能量可調，以獲得ZJ離子研磨結果。這一款獨立的桌面型設備集 TEM，SEM和LM樣品制備功能于一體，這與市面上其它設備截然不同。除了高能量離子研磨功能外，徠卡EM RES102還可 用于低能量極溫和的離子束研磨過程。

• TEM 樣品：

• 單面或雙面離子束研磨適用于材料的離子束減薄過程。鞍形場離子源可獲得很大的電子束透明薄區。

• 程序化控制的離子入射角度變化，適用于完成特殊的樣品制備目的，例如FIB樣品清潔，以減少無定形非晶層。

• SEM 或 LM 樣品：

• 離子束拋光最大拋光區域可達25mm。

• 離子束清潔適用于對樣品表面污染層或機械拋光后表面產 生的涂抹層進行清潔。

• 樣品表面襯度增強作用，可替代化學刻蝕作用。

• 35°斜坡切割用于制備多層樣品的截面。

• 90°斜坡切割用于制備復合結構的半導體樣品或組裝器件，這種方式所需的機械預加工工作最少。

為了支持多樣化的應用需求，Leica EM RES102 可以裝配各種樣品臺以適用于TEM，SEM及LM 樣品制備。預抽室系統實現樣品快速交換，從而可有效提高樣品交換效率 。

帶給您的好處

Leica EM RES102 可對樣品進行離子束減薄，清潔，截面切割，拋光以及襯度增強，這極大滿足了您對應用需求的多樣化和便利性。

• 操作簡便

• 19”觸摸屏電腦控制單元，監控并記錄制樣過程

• 內置應用參數庫

• 程序化制樣參數設定，加速初學者學習曲線

• 幫助文件幫助初學者以及對設備進行維護

• 高效/節約成本

• TEM，SEM和LM應用功能集于一體

• TEM樣品制備獲得的薄區大，有效提高了TEM樣品制備效率

• SEM樣品制備最大可達25mm樣品直徑

• 預抽室系統幫助快速交換樣品，減少等待時間，并保證了樣品室的持續高真空

• 局域網功能方便遠程操控

• LN2樣品臺使得溫度敏感型樣品可在優化條件下進行離子研磨

• 安全

• 精確的自動終止功能，適用于光學終止或透明樣品的法拉第杯終止

• 在制樣過程中可以時時存儲活圖像或視頻

• 離子源和樣品運動馬達驅動，程序化控制，因而可獲得重復性制樣結果

主要功能

對無機薄片樣品進行離子減薄，使得薄片樣品可被透射電子穿過，從而適宜TEM透射電子顯微鏡觀察；對無機塊狀樣品進行離子束拋光、離子束刻蝕，樣品表面離子清洗及斜坡切割，便于SEM掃描電子顯微鏡觀察樣品內部結構信息。

優異性價比

一臺設備即可為TEM、SEM、LM電鏡檢測提供WM試樣，多種應用功能集于一體，高效并節約成本安全；所有機械控制、樣品移動實現全自動化，可獲得重復性制樣結果分段冷卻；對溫度敏感樣品得到充分保護，在優化條件下進行離子研磨，保持樣品的原生態操作簡便；內置應用參數庫，幫助文件，無論是初學者還是后期維護都十分簡單。