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在真空系統中，水蒸氣是影響抽真空裝置抽氣速度 zui 大的障礙，深冷水汽捕集泵可以 快速有效捕捉系統殘余空氣中 65%到 95%的水蒸氣，減少抽水蒸汽所耗費的時間，效率高達 80%。若在現有的抽真空系統中加裝深冷捕集泵，可以增加生產能力 30%到 100%，還能改善 鍍膜品質。 在真空系統中，水蒸氣是非常嚴重的污染源，因此在要求更高的鍍膜品質中，若能得到 更低的蒸汽分壓，可以增強膜層的附著性能，提升鍍膜品質，在蒸鍍各類裝飾材料過程中避 免出現色差，在塑膠基板蒸鍍過程中可使角落表面呈均勻平整狀態。 

深冷捕集泵能加快高真空裝置的抽氣速度并提高真空度，將一個溫度極低的深冷盤管放 置在真空腔室內或者油擴散泵口，根據氣體的低溫冷凝效應，可以迅速使真空系統中的水蒸 氣及其它氣體凝結在深冷盤管上，由此可以快速達到降低真空腔室內氣壓的效果，大幅度減

少抽真空的時間，同時可使真空度提高半個到一個數量級，因而大大提高生產效率，節約生 產成本，所以被稱為真空業界的好幫手，真空鍍膜系統的節能先鋒。 

在真空腔體內，水汽分子是最典型的環境污染氣體，占腔內殘余氣體 65% 到 95% ，當 真空度達到 10-2Pa 時，水汽分子用平常真空泵難排出腔體，是典 型的具副作用的污染 氣體，是工件的污染源，從而使產品的產量和質量受 到影響。 

為了快速的達到較高的真空度，COOL 系列水汽深冷泵快速捕集和吸 附真空腔內的水 汽，輔助抽真空，在極短的時間達到需求的真空度 COOL 系列水汽深冷捕集泵工作原理將 一個冷阱盤管或擋板，放置在真空室內 的腔壁上或油擴散泵的泵口，通過制冷盤管表面， 實現低溫冷凝效應，迅速捕集集真空泵統的水汽分子或其它殘余氣體分子，從而獲得潔凈的 真空環境，提高產品的產量和質量，改善鍍膜的品質，提高薄膜的附著力和多層鍍 膜能力。