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反應(yīng)式離子蝕刻系統(tǒng)
- 品牌：毅睿/芯壹方
- 型號(hào)： 定制 詳情15345079037
- 產(chǎn)地：福建 廈門
- 供應(yīng)商報(bào)價(jià)：面議
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廈門毅睿科技有限公司
更新時(shí)間：2025-02-17 14:25:22 -
銷售范圍售全國
入駐年限第1年
營業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類產(chǎn)品真空鍍膜系統(tǒng)(30件)
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詳細(xì)介紹
反應(yīng)式離子蝕刻系統(tǒng)
Description:
●Source : ICP 13.56 MHz1000-2000 WRF
●Bias:13.56 MHz 300 WRF
●自動(dòng)壓力控制器
●2”-6” 水冷載臺(tái)
●氣體:H2,CF4,SF6,Ar,N2. O2 ... etc.,
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