臺面尺寸(mm)

60×60

60×42

臺面厚度(mm)

20

25

30

40

40

-

移動量

粗調：±6.5mm；精調：±0.3mm

θx：±3°；θy：±3°

導向機構

線性滑塊導軌

交叉滾柱導軌

圓弧導軌

驅動

分厘卡

分厘卡

主體材料及表面處

理

鋁合金，黑色陽極氧化處理

鋁合金，黑色陽極氧化處理

自重(Kg)

0.28

0.32

0.4

0.43

0.4

分辨率

粗調：≤10μm/刻度；精調≤0.5μm/刻度

θx：≤29.4″/刻度；θy：≤27.7″/刻度

靜態平行度

≤60μm

-

運動平行度

≤10μm

-

運動直線度

≤4μm

-

-

臺面曠量/前后

≤8μm

-

臺面曠量/左右

≤8μm

-

負載(Kg)

5

6

5

2.5

1.5