正常情況，轉速越快，加速度越大，時間越長，spin的膠厚越薄；

勻膠“主要工藝參數”由轉速和時間決定膠的厚度。

同樣粘度的膠，轉速越快膠越薄，但關系不線性，6000轉/分之后減薄較慢了。

較低轉速時外界環境會影響均膠質量，所以不建議用低速獲得厚膠，而太高的轉速長期工作也會影響機器壽命。

一般勻膠工藝使用轉速3000~6000之間，膜厚的穩定性較好。

影響膜厚均勻性的因素主要有：環境溫度、環境濕度、排風凈壓力、光刻膠溫度、旋轉馬達的精度和和重復性，預旋轉的速度，噴膠狀況和回吸量等因素，環境溫度的變化大大影響了圓片表面的涂膠均勻性。