使用ICP、ICP-MS分析時存在光學干擾，而儀器的結構又決定了Si的檢出限比其他元素更高，所以為了分析低濃度的Si，必須去除光學干擾或更換儀器進樣系統 ( 霧室、霧化器、ZX管、炬管 )。

本實驗的目的是利用NexION 的 DRC模式確定分析Si的**條件。