在傳統的電鏡中，由于EDS的檢出限為0.1%，所以對于一些微量元素的分析來說較為困難。尤其是要做微量元素或者差異很小的面分布來說，EDS往往不能滿足我們的需要。雖然拉曼光譜并不能直接得到元素含量和分布分析，但是有時候微量元素的變化足以引起對應的特征拉曼峰的變化。此時便可利用拉曼光譜去進行微量元素的分析。