
- 2025-01-21 09:30:56晶圓清洗設備
- 晶圓清洗設備是半導體制造中的關鍵設備,用于去除晶圓表面的顆粒、有機物、金屬雜質等污染物。它采用化學清洗、機械刷洗、超聲波清洗等多種技術,確保晶圓表面潔凈度達到工藝要求。設備具有高精度、高自動化特點,能有效提高生產效率和產品質量。在先進制程中,晶圓清洗設備的重要性愈發凸顯,是保障芯片性能的關鍵環節之一。
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晶圓清洗設備問答
- 2025-03-06 18:33:31U-III表面粒子計數器如何檢測半導體晶圓的顆粒???
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- 2022-08-18 14:32:14晶圓清洗機主要結構特點及工藝流程
- 一.產品結構晶圓清洗機主要結構特點:1、采用三套獨立的電腦控制機械臂自動化作業2、采用第三代技術,全面完善的防酸防腐措施,保護到機器每一個角落3、全自動補液技術4、*的硅片干燥前處理技術,保證硅片干燥不留任何水痕5、成熟的硅片干燥工藝,多種先進技術集于一身6、彩色大屏幕人機界面操作,方便參數設置多工藝方式轉換二.產品特點晶圓清洗機具有以下特點:1、械手或多機械手組合,實現工位工藝要求。2、PLC全程序控制與觸摸屏操作界面,操作便利。3、自動上下料臺,準確上卸工件。4、凈化烘干槽,*的烘干前處理技術,工作干燥無水漬。5、全封閉外殼與抽風系統,確保良好工作環境。6、具備拋動清洗功能,保證清洗均勻。7、全封閉清洗均勻。8、全封閉外殼與抽風系統,確保良好工作環境。三、晶圓清洗機工藝流程 自動上料→去離子水+超聲波清洗+振動篩拋動→堿液+超聲波清洗+拋動→去離子水+超聲波清洗+拋動→堿液+超聲波清洗+拋動→堿液+超聲波清洗+拋動→去離子水+超聲波清洗+拋動+溢流→去離子水+超聲波清洗+拋動+溢流→自動下料四、晶圓清洗機應用范圍1、爐前清洗:擴散前清洗。2、光刻后清洗:除去光刻膠。3、氧化前自動清洗:氧化前去掉硅片表面所有的沾污物。4、拋光后自動清洗:除去切、磨、拋的沾污。5、外延前清洗:除去埋層擴散后的SiO2及表面污物。6、合金前、表面鈍化前清洗:除去鋁布線后,表面雜質及光膠殘渣。7、離子注入后的清洗:除去光刻膠,SiO2層。8、擴散預淀積后清洗:除去預淀積時的BSG和PSG。9、CVD后清洗:除去CVD過程中的顆粒。10、附件及工具的清洗:除去表面所有的沾污物
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- 2021-08-24 13:34:46Crystalgen科晶微量離心管/圓底試管/自立試管
- Crystalgen科晶微量離心管/圓底試管/自立試管本生(天津)健康科技有限公司供應:移液器吸嘴,ELISA試劑盒,動物血清,全系熒光定量PCR耗材,產品包括:PCR單管、八聯管、96孔板、384孔板。離心管采用聚丙烯原料,管壁厚度均勻,管上均標有刻度,可直接讀取濃縮液容量,更便于用吸管回收濃縮液,獨特的密封蓋防止液體滲漏,耐高溫、高壓,耐酸堿有機溶劑,可高速離心不破裂。現有0.2/0.5/1.5/5/7/10/15/50ml等多規格供客戶選擇。Crystalgen(科晶)微量離心管/圓底試管/自立管產品特點說明:超透明,低吸附;可單手操作,有效開關數千回無磨損;強度好,22000G的離心力,可以當超速離心管使用;能耐-180到120℃的極限溫度;極度光滑的內壁,無液體殘留,由五XJ的模具生產而成;管蓋可“兩步開關”,輕柔關閉和穩固閉合。輕柔關閉時,可在再次開啟時,輕輕觸碰蓋子后部,即可自動開啟,為再次加入溶液或者反應物帶來極大方便,并且極大減少污染,并對使用者提供了進一步的保護。23-20511.70ml 微量離心管,無DNA酶/RNA酶無熱源, 滅菌小包裝23-20521.70ml 微量離心管,無DNA酶/RNA酶無熱源, 滅菌23-2052LK1.50ml 微量離心管,無DNA酶/RNA酶無熱源, 滅菌,帶鎖扣23-2052R1.70ml 微量離心管,無DNA酶/RNA酶無熱源,滅菌,架裝23-2052A1.70ml 微量離心管,無DNA酶/RNA酶無熱源, 深咖啡色,避光,滅菌23-2052V1.70ml 微量離心管,無DNA酶/RNA酶無熱源, 紫色,滅菌23-2052Y1.70ml 微量離心管,無DNA酶/RNA酶無熱源, 黃色,滅菌23-2052B1.70ml 微量離心管,無DNA酶/RNA酶無熱源, 藍色,滅菌23-2052O1.70ml 微量離心管,無DNA酶/RNA酶無熱源, 橙色,滅菌23-2052AS1.70ml 微量離心管,無DNA酶/RNA酶無熱源, 五色混裝(紅黃橙藍紫),滅菌23-20551.70ml 微量離心管,無DNA酶/RNA酶無熱源, 硅化,滅菌23-11922.0 ml 微量離心管,無DNA酶/RNA酶無熱源, 滅菌23-11955.0 ml 微量離心管,圓底,按蓋,無DNA酶/RNA酶無熱源, 滅菌23-22845.0 ml 微量離心管,尖底,螺旋蓋,無DNA酶/RNA酶無熱源, 滅菌23-22855.0 ml 微量離心管,尖底,按蓋,無DNA酶/RNA酶無熱源, 滅菌23-65520.65ml 微量離心管,無DNA酶/RNA酶無熱源, 白色,滅菌23-6552A0.65ml 微量離心管,無DNA酶/RNA酶無熱源, 深咖啡色,避光,滅菌23-6552B0.65ml 微量離心管,無DNA酶/RNA酶無熱源, 藍色,滅菌23-6522Y0.65ml 微量離心管,無DNA酶/RNA酶無熱源, 黃色,滅菌23-6552AS0.65ml 微量離心管,無DNA酶/RNA酶無熱源, 滅菌, 五色混裝美國Crystalgen科晶圓底試管/自立試管超透明,刻度JZS-2272P5.0ml自立試管,PP(聚丙烯),無DNA酶/RNA酶無熱源, 滅菌23-326010ml 自立試管,PP(聚柄烯), 自立, 印刷標記區,無DNA酶/RNA酶無熱源, 滅菌23-326130ml 自立試管,PP(聚丙烯),自立,無DNA酶/RNA酶無熱源,滅菌23-326250ml 自立試管,PP(聚丙烯), 自立,印刷標記區, 無DNA酶/RNA酶無熱源, 滅菌23-2589超速離心管 45ml PP(聚丙烯),相對離心力70,000g ,帶帽, 滅菌23-2590超速離心管 45ml PP(聚丙烯),相對離心力70,000g ,不帶帽, 滅菌Crystalgen科晶微量離心管/圓底試管/自立試管23-2059S14ml 細胞培養管/離心管, PS(聚苯乙烯), 無DNA酶/RNA酶無熱源,滅菌23-205914ml 細胞培養管/離心管, PP(聚丙烯), 無DNA酶/RNA酶無熱源,滅菌23-2062加樣槽/V型,5-50ml 獨立包裝, 滅菌23-2063加樣槽/V型,5-50ml,滅菌
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