- 2025-04-24 16:59:02傳感器技術
- 傳感器技術是一種基于各類傳感器實現信息采集與轉換的技術。傳感器作為檢測裝置，能感受到被測量的信息，并能將感受到的信息按一定規律變換成為電信號或其他所需形式的信息輸出，以滿足信息的傳輸、處理、存儲、顯示、記錄和控制等要求。它在自動化控制、測量測試、遙感探測、智能設備等領域有廣泛應用，是實現智能化、自動化、信息化的重要基礎技術之一。傳感器技術的發展水平，是衡量一個國家科學技術水平的重要標志。
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傳感器技術資訊
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杭州川恒實驗儀器有限公司
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傳感器技術問答
- 2018-12-01 11:43:15傳感器技術的圖書目錄
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- 2018-12-07 20:54:00傳感器技術的發展歷程
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- 2022-11-18 16:15:48反應離子刻蝕技術
- 反應離子刻蝕概述：反應離子腐蝕技術是一種各向異性很強、選擇性高的干法腐蝕技術。它是在真空系統中利用分子氣體等離子來進行刻蝕的，利用了離子誘導化學反應來實現各向異性刻蝕，即是利用離子能量來使被刻蝕層的表面形成容易刻蝕的損傷層和促進化學反應，同時離子還可清除表面生成物以露出清潔的刻蝕表面的作用。主要用于Si、SiO2、SiNx、半導體材料、聚合物、金屬的刻蝕以及光刻膠的去除等，廣泛應用于物理，生物，化學，材料，電子等領域。 工作原理：通常情況下，反應離子刻蝕機的整個真空壁接地, 作為陽極, 陰極是功率電極, 陰極側面的接地屏蔽罩可防止功率電極受到濺射。要腐蝕的基片放在功率電極上。腐蝕氣體按照一定的工作壓力和搭配比例充滿整個反應室。對反應腔中的腐蝕氣體, 加上大于氣體擊穿臨界值的高頻電場, 在強電場作用下, 被高頻電場加速的雜散電子與氣體分子或原子進行隨機碰撞, 當電子能量大到一定程度時, 隨機碰撞變為非彈性碰撞, 產生二次電子發射, 它們又進一步與氣體分子碰撞, 不斷激發或電離氣體分子。這種激烈碰撞引起電離和復合。當電子的產生和消失過程達到平衡時, 放電能繼續不斷地維持下去。由非彈性碰撞產生的離子、電子及及游離基(游離態的原子、分子或原子團) 也稱為等離子體, 具有很強的化學活性, 可與被刻蝕樣品表面的原子起化學反應, 形成揮發性物質, 達到腐蝕樣品表層的目的。同時, 由于陰極附近的電場方向垂直于陰極表面, 高能離子在一定的工作壓力下, 垂直地射向樣品表面, 進行物理轟擊, 使得反應離子刻蝕具有很好的各向異性。所以，反應離子刻蝕包括物理和化學刻蝕兩者的結合。 刻蝕氣體的選擇對于多晶硅柵電極的刻蝕，腐蝕氣體可用Cl2或SF6，要求對其下層的柵氧化膜具有高的選擇比。刻蝕單晶硅的腐蝕氣體可用Cl2/SF6或SiCl4/Cl2；刻蝕SiO2的腐蝕氣體可用CHF3或CF4/H2；刻蝕Si3N4的腐蝕氣體可用CF4/O2、SF6/O2或CH2F2/CHF3/O2；刻蝕Al（或Al-Si-Cu合金）的腐蝕氣體可用Cl2、BCl3或SiCl4；刻蝕W的腐蝕氣體可用SF6或CF4；刻蝕光刻膠的腐蝕氣體可用氧氣。對于石英材料, 可選擇氣體種類較多, 比如CF4、CF4+ H2、CHF3 等。我們選用CHF3 氣體作為石英的腐蝕氣體。其反應過程可表示為：CHF3 + e——CHF+2 + F (游離基) + 2e，SiO 2 + 4F SiF4 (氣體) + O 2 (氣體)。SiO 2 分解出來的氧離子在高壓下與CHF+2 基團反應， 生成CO ↑、CO 2↑、H2O ↑、O F↑等多種揮發性氣體。對于鍺材料、選用含F 的氣體是十分有效的。然而, 當氣體成份中含有氫時, 刻蝕將受到嚴重阻礙, 這是因為氫可以和氟原子結合, 形成穩定的HF, 這種雙原子HF 是不參與腐蝕的。實驗證明, SF6 氣體對Ge 有很好的腐蝕作用。反應過程可表示為：SF6 + e——SF+5 + F (游離基) + 2e，Ge + 4F——GeF4 (揮發性氣體) 。 設備：典型的（平行板）RIE系統包括圓柱形真空室，晶片盤位于室的底部。晶片盤與腔室的其余部分電隔離。氣體通過腔室頂部的小入口進入，并通過底部離開真空泵系統。所用氣體的類型和數量取決于蝕刻工藝;例如，六氟化硫通常用于蝕刻硅。通過調節氣體流速和/或調節排氣孔，氣體壓力通常保持在幾毫托和幾百毫托之間的范圍內。存在其他類型的RIE系統，包括電感耦合等離子體（ICP）RIE。在這種類型的系統中，利用RF供電的磁場產生等離子體。雖然蝕刻輪廓傾向于更加各向同性，但可以實現非常高的等離子體密度。平行板和電感耦合等離子體RIE的組合是可能的。在該系統中，ICP被用作高密度離子源，其增加了蝕刻速率，而單獨的RF偏壓被施加到襯底（硅晶片）以在襯底附近產生定向電場以實現更多的各向異性蝕刻輪廓。 操作方法：通過向晶片盤片施加強RF（射頻）電磁場，在系統中啟動等離子體。該場通常設定為13.56兆赫茲的頻率，施加在幾百瓦特。振蕩電場通過剝離電子來電離氣體分子，從而產生等離子體 。在場的每個循環中，電子在室中上下電加速，有時撞擊室的上壁和晶片盤。同時，響應于RF電場，更大質量的離子移動相對較少。當電子被吸收到腔室壁中時，它們被簡單地送到地面并且不會改變系統的電子狀態。然而，沉積在晶片盤片上的電子由于其DC隔離而導致盤片積聚電荷。這種電荷積聚在盤片上產生大的負電壓，通常約為幾百伏。由于與自由電子相比較高的正離子濃度，等離子體本身產生略微正電荷。由于大的電壓差，正離子傾向于朝向晶片盤漂移，在晶片盤中它們與待蝕刻的樣品碰撞。離子與樣品表面上的材料發生化學反應，但也可以通過轉移一些動能來敲除（濺射）某些材料。由于反應離子的大部分垂直傳遞，反應離子蝕刻可以產生非常各向異性的蝕刻輪廓，這與濕化學蝕刻的典型各向同性輪廓形成對比。RIE系統中的蝕刻條件很大程度上取決于許多工藝參數，例如壓力，氣體流量和RF功率。 RIE的改進版本是深反應離子蝕刻，用于挖掘深部特征。
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- 2025-03-21 13:45:11ph傳感器工作特點是什么？
- PH傳感器工作特點 PH傳感器是用于測量溶液酸堿度的一種儀器，廣泛應用于環境監測、工業生產、農業以及水處理等多個領域。隨著科技的發展，PH傳感器的工作原理、結構設計和應用場景不斷改進和優化。本文將探討PH傳感器的工作特點，包括其原理、設計、應用及其在各領域中的重要性。 PH傳感器的工作原理 PH傳感器的工作原理基于電化學反應，通過檢測溶液中的氫離子濃度來確定其酸堿度。通常，PH傳感器由兩個主要部分組成：敏感電極和參比電極。敏感電極通常由玻璃材料制成，當其接觸到溶液時，玻璃電極表面會與溶液中的氫離子發生反應，從而產生一個電位差。這個電位差與氫離子濃度之間存在一定的關系，而參比電極則提供穩定的電位作為對比，通過電路計算得出PH值。 在實際應用中，PH傳感器不僅需要保持良好的電化學性能，還要具備較強的抗干擾能力，以確保其測量結果的準確性。 PH傳感器的工作特點 PH傳感器的工作特點主要體現在其精確性、靈敏度、穩定性和耐用性四個方面。 精確性與靈敏度 PH傳感器能夠地測量溶液中的PH值，通常誤差僅在±0.01pH之間。這種高精度使得PH傳感器在各類工業、環境監測等領域得到了廣泛應用。PH傳感器具有很高的靈敏度，可以檢測到極微小的PH值變化，因此非常適合用于要求高精度的測量場景。 穩定性與抗干擾能力 PH傳感器的穩定性決定了其長期使用的可靠性。現代的PH傳感器采用了先進的材料和電路設計，使得其在長時間使用后仍能夠保持良好的測量性能。其抗干擾能力也逐步提升，能夠在不同溫度、壓力以及化學環境下進行穩定的測量，從而保證數據的可靠性。 耐用性與應用廣泛性 PH傳感器通常具有較強的耐用性，能夠適應各種復雜的工作環境，如高溫、高壓或強腐蝕性溶液。這使得它在水處理、化工生產等領域具有廣泛的應用。PH傳感器還能夠通過定期校準和保養，延長其使用壽命，降低維護成本。 響應時間與測量速度 PH傳感器的響應時間通常較短，可以在幾秒鐘內完成PH值的測量。這一特點使其在動態環境下的應用非常有優勢，尤其是在需要快速反應和調整的工業生產過程中，能夠及時提供準確的數據支持，避免因PH值偏離而導致產品質量問題。 PH傳感器的應用領域 PH傳感器在多個行業中有著廣泛的應用。例如，在環境監測中，PH傳感器可以實時監測水體的酸堿度，確保水質符合環保標準。在農業領域，PH傳感器幫助監測土壤的酸堿性，以優化肥料使用和提高作物產量。在工業生產中，PH傳感器用于控制化學反應的進程，確保產品質量穩定。 結語 PH傳感器作為一種重要的測量儀器，其工作原理、特點和應用范圍日益廣泛，已成為許多行業中不可或缺的工具。隨著技術的進步，PH傳感器的性能和應用將進一步提升，在現代科技和工業中發揮著越來越重要的作用。
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- 2025-03-26 16:00:14可燃氣體傳感器靜態特性有什么？
- 可燃氣體傳感器靜態特性 可燃氣體傳感器是現代安全系統中的重要組成部分，廣泛應用于家庭、工業及實驗室等環境中，實時監測氣體泄漏，確保人員安全。可燃氣體的檢測通常依賴于傳感器的精確響應能力和穩定性，而傳感器的靜態特性則是評價其性能的關鍵指標之一。本文將詳細探討可燃氣體傳感器的靜態特性，包括其靈敏度、零點漂移、穩定性等方面，為相關領域的工程師和技術人員提供理論支持和技術指導。 可燃氣體傳感器靜態特性概述 可燃氣體傳感器的靜態特性主要指其在穩定工作條件下的性能表現。靜態特性直接影響傳感器的準確度和可靠性，包括零點漂移、靈敏度、分辨率、響應時間和長期穩定性等參數。對這些靜態特性的深入理解，有助于在不同應用場景下選擇合適的傳感器并進行有效的故障排查。 靈敏度與零點漂移 靈敏度是指傳感器對氣體濃度變化的響應能力，即氣體濃度變化時，傳感器輸出信號的變化量。理想的傳感器應具有高靈敏度，以便在低濃度的可燃氣體泄漏情況下，能夠及時響應。高靈敏度可能伴隨較大的零點漂移，影響傳感器的長期穩定性。 零點漂移是指傳感器在無氣體存在的情況下，其輸出信號的變化。良好的可燃氣體傳感器應盡可能減少零點漂移，保持穩定的零點，以提高檢測準確性。零點漂移過大可能會導致誤報或漏報，從而影響系統的可靠性。 穩定性與長期性能 穩定性是衡量傳感器在長時間使用過程中其性能變化的能力。在長期使用過程中，傳感器的輸出信號應保持穩定，以保證檢測結果的準確性和一致性。可燃氣體傳感器的穩定性通常受到環境溫度、濕度、氣體種類及濃度等因素的影響。 為了確保長期穩定性，傳感器需要經過嚴格的老化測試和耐久性評估。傳感器的外部保護設計也對其穩定性至關重要。例如，傳感器外殼的材料和結構設計能夠有效防止外界污染物的侵入，保護傳感器內部元件的功能。 響應時間與恢復時間 響應時間是指傳感器從接收到氣體變化信號到輸出穩定信號所需的時間。傳感器的響應時間應盡可能短，以便在氣體泄漏發生時能夠迅速做出反應，提醒用戶采取措施。另一方面，恢復時間指的是傳感器從氣體濃度恢復到正常水平所需的時間，這一特性影響了傳感器在高濃度氣體環境中的性能表現。 短的響應時間和恢復時間對于可燃氣體傳感器至關重要，尤其是在一些特殊應用場景，如高危行業中的氣體泄漏監測。 總結 可燃氣體傳感器的靜態特性直接關系到其性能的穩定性與準確性，影響著氣體泄漏檢測的效果。靈敏度、零點漂移、長期穩定性、響應時間及恢復時間是評價傳感器靜態特性的核心指標。通過優化這些參數，能夠大幅提升傳感器的整體性能，保障環境安全。因此，在選擇和使用可燃氣體傳感器時，必須充分考慮這些靜態特性，以確保傳感器在各種條件下的優異表現，達到佳的檢測效果。
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滬公網安備 31011502008050號