- 2025-01-10 17:02:33電子束光刻
- 電子束光刻是一種高分辨率的微納加工技術，利用聚焦的電子束直接在襯底上掃描，通過電子與物質的相互作用實現圖案的刻蝕。該技術具有高分辨率、高精度和直接寫入等優點，可應用于制造納米級電子器件、光子器件及集成電路等領域。通過精確控制電子束的劑量和掃描路徑，可以制備出復雜且精細的圖案結構，是微納加工領域的一項重要技術。
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