- 2025-01-21 09:33:05微機電系統(MEMS)
- 微機電系統(MEMS)是集成了微型機械結構、傳感器、執行器以及電子控制單元于一體的微型系統。它具有體積小、功耗低、集成度高、性能穩定等特點。MEMS技術廣泛應用于傳感器領域，如加速度計、壓力傳感器等，也用于執行器，如微型泵、微型閥等。此外，在醫療、航空、通信等領域也有重要應用，是現代微納技術的重要組成部分。
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