感應區熔爐系統如圖所示，包含:高頻感應電源及配套感應線圈,耐高溫石英管,移動控制系統,紅外測溫,系統水冷循環裝置等，可調角度工位。石英玻璃管與感應線圈采用整體式設計,底部安裝電動機械機構。

高溫區域熔融升華爐如圖所示，爐襯使用真空成型高純氧化鋁聚輕材料，采用電阻絲為加熱元件。