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美國SVT超高真空解理機(jī)/解理鍍膜機(jī) WP-15

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詳細(xì)介紹

SVT公司的樣品解理部件可以將15mm(其他尺寸可選)的方形樣品解理成15個(gè)1mm×15mm的Bar條。

所有解理出的bar條被收集到樣品托,堆疊在一起進(jìn)行下一步批量加工。

獨(dú)特設(shè)計(jì)的解理工具避免了器件被破壞以及樣品互相黏在一起的可能性。

此解理工具可完全適用于UHV環(huán)境。
解理機(jī)可以增加鈍化層沉積模塊。

解理后堆疊在一起的Bar條直接進(jìn)入鈍化室,不用暴露大氣。
 
規(guī)格
在線bar條解理

加工15mm×15mm 樣品(10mm-32mm可選)
加工成15mm×1mm 樣品(1mm-5mm寬度可選)
8''法蘭接口
可烘烤至180oC,(200oC可選)
樣品可以兩種方向加工
UHV環(huán)境兼容
Cassette裝取


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