肖特基熱場發(fā)射電鏡與冷場發(fā)射電鏡相比具有一定的優(yōu)勢。ZEISS 場發(fā)射掃描電鏡主要有如下特點：

1．探針電流較大，可達(dá)10nA（20nA可選），可容易進(jìn)行 BSE、EDS、WDS、EBSD、CL等分析。而一般冷場發(fā)射探針電流達(dá)不到這個數(shù)量級，有些分析工作（如WDS、EBSD、CL等）在冷場電鏡上難以進(jìn)行。

2．電子束噪聲較小，＜1％。

3．束流穩(wěn)定度高，優(yōu)于0.2％／h，適宜于長時間的各種精確分析。

上述兩項指標(biāo)其它廠家均未給出。在理論上冷場發(fā)射比熱場發(fā)射要差一個數(shù)量級。

4．所需的工作真空度（包括電子槍真空度和樣品室真空度）較低，對環(huán)境、樣品要求不高。而冷場發(fā)射電鏡的真空度比熱場要高2個數(shù)量級，真空系統(tǒng)復(fù)雜，如樣品不清潔、有揮發(fā)、放氣等情況，抽真空較困難。

5．維護(hù)簡便，且工作穩(wěn)定。冷場電鏡每天都需要Flash（陰極還原），且發(fā)射電流不穩(wěn)定，使用維護(hù)麻煩。而熱場電鏡無此麻煩。

6．分辨率較高。ZEISS場發(fā)射電鏡由于其獨特的鏡筒設(shè)計（GEMINI鏡筒），具有優(yōu)越的性能，掃描電鏡分辨率可達(dá)1nm，不比冷場發(fā)射電鏡差。

7．ZEISS 場發(fā)射電鏡具有極好的低加速電壓性能，加速電壓可達(dá)100V，且在100V時具有較高的分辨率，優(yōu)于其它品牌。

8．超大樣品室、全部坐標(biāo)馬達(dá)驅(qū)動樣品臺及較大的移動范圍，為使用提供了極大的方便。

9．抽屜式樣品室拉門，方使樣品更換及大樣品、形狀復(fù)雜樣品的觀察。而冷場掃描電鏡由于要求的真空度較高，不宜破壞樣品室的真空，一般用“樣品交換氣鎖”來更換樣品，操作麻煩，且進(jìn)出樣品的尺寸、形狀受限。

10．真空系統(tǒng)全自動控制，不需人工干預(yù)。

11．獨特的環(huán)形In—lens二次電子探測器，探測效率高、圓周對稱。而其它廠家的In—lens 探測器安裝在一側(cè)，且結(jié)構(gòu)復(fù)雜。

12．ZEISS 熱場掃描的有些型號具有獨特的VP（可變壓力）工作方式，壓力范圍2～133Pa。冷場發(fā)射電鏡一般沒有可變壓力（低真空）工作方式。

13．采用電磁、靜電復(fù)合式物鏡，雜散磁場小，可對鐵磁體樣品進(jìn)行高分辨率成像。

14．末級光欄采用多孔光欄結(jié)構(gòu)，用電磁方式進(jìn)行更換和對中調(diào)整，操作方便。鏡筒上無需用戶調(diào)整的部件。

15．德國制造，設(shè)計先進(jìn)，工藝考究。物鏡、分子泵、電路板散熱器件均用水冷，冷卻水恒溫，大大增強(qiáng)了穩(wěn)定性、可靠性和可重復(fù)性。