1. 產品簡介

WH-SC-01勻膠機適用于半導體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導電玻的半導體工藝、制版、及表面涂覆等工藝，由汶顥股份自主研發，具有獨立知識產權。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點，并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。
    勻膠機具有快速啟動、快速切換轉速和轉速穩定的性能，能夠保證膠膜厚度的一致性和均勻性。采用全觸摸屏控制，實現啟/停可控，轉速實時觀察、三檔轉速可來回切換等功能，啟動后在低速下進行勻膠，再切換至高速下進行甩膠，轉速及相應的時間分別可調；
    儀器配置了“安全開關”按鈕，儀器運轉時，上蓋處于關閉狀態，一旦上蓋打開，將觸發“安全開關”，儀器停止運轉，起到保護作用。 

2. 技術參數

2 轉速：硅片4英寸（含）以內300-8500RPM；4英寸以上300-6000RPM

2 時間控制：1-32767s

2 轉速穩定性：±1%

2 膠的均勻性：±3%

2 參數設定：觸摸屏設置參數

2 適用于φ28至φ200mm硅片及其它材料等勻膠

2 電源輸入：AC220V±10V，50HZ

2 功率：60W

2 重量：13kg

2 外形尺寸：300（W）*227（H）*350（D）

2 工作環境：溫度0℃-40 ℃，相對濕度＜80 %