具體應用領域：

產品特點

◆  采用閉環控制伺服電機，數字式增速信號反饋，速勻準確，壽命長，保證勻膠均勻。

◆  7 寸全彩中英文互動操作觸摸屏，智能程序化可編程操控顯示，標配 10 個勻膠梯度階段（速度和時間梯度設置） ，可 選配 20 個可編程程序，每個程序下可設置 10 個勻膠梯度階段，最多 100 個階段。

◆  內置水平校準裝置，大限度的保證旋涂均勻，可對大小不同規格的基片進行旋涂。

◆  多重安全保護電磁安全開關，蓋子打開卡盤停止，保證安全；蓋子自鎖功能，防止飛片蓋彈開傷人；

雙重安全上蓋，聚四氟嵌鑲鋼化玻璃，避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人，大限度保證實驗人員安全。

◆  樣品托盤卡口和樣品托盤之間三重密封安全保護，有效降低電機進膠的風險。

◆  一機兩用，根據不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂方式。

◆  符合人體功能學的水平取放樣品旋涂托盤設計，取放樣品更方便。

◆  不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體，旋涂腔體采用 PTFE 材料。旋涂托盤采用聚丙烯（NPP-H）材料，耐酸堿防腐蝕，保證儀器 在苛刻條件下仍能正常運行。

◆  上下雙腔體設計，較大的上腔體便于擦拭去除膠液，錐形下腔體結構設計便于收集膠液，并帶廢膠收集裝置。

◆  可選氮氣吹掃、氮氣保護，自動滴膠或簡易滴膠裝置，提供更多的操作便利性。

◆  適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs，GaN，InP 等多種材料。

 技術參數

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