真空鍍碳儀

廠家

型號：TZZN-1000C

注明：桌面型蒸鍍碳層，減少因樣品鍍層對X射線能量譜儀做元素分析時的能量損失，可以選擇蒸發碳繩和蒸發碳棒兩種方式。

技術規格說明

樣品倉尺寸：φ150mmX110mm

蒸發面積：約Φ140mm

真空度：≤4×10-2mbar

工作電壓：220V,50HZ

蒸發輸出：電壓30V

蒸發靶材：碳棒、碳繩

蒸發電流：約100A

理想膜層的特點

1.良好的導熱和導電性能。

2.不管樣品的表面形貌如何，覆蓋在所有部位的膜層需要薄厚均勻。

3.膜層對樣品的化學成分干擾很小，對從樣品中發射的X射線強度影響很弱。

4.這層膜主要增加樣品表面的導電性能和導熱性能，相較于導電金屬膜層的厚度普遍在10nm以上；可提供碳的鍍層，在3-4nm分辨率尺度內不顯示其幾何形貌特點，避免引入不必要的人為圖像，鍍層精細均勻，適合非常粗糙的樣品，高分辨研究。

5.可以噴碳（碳棒或碳繩），有利于對樣品中非碳元素的能譜分析。

6.非導電樣品觀察背散射電子圖像，進行EBSD分析，也應該噴碳處理。

主要用于掃描電鏡 EDS 樣品鍍導電膜 ，儀器操作簡單方便，是配合SEM 制樣的儀器。

TZZN-1000C熱蒸發鍍碳儀

使用說明書

 設備外觀僅供參考，以實物為準）

特點：

1.熱蒸發儀是將碳繩連接在真空中的兩個電極上，為了避免碳在空氣中加熱燃燒；

2.特殊設計的鐘罩邊緣橡膠密封圈，可保證長期使用不會出現影響樣品蒸鍍/濺射室的玻璃鐘罩“崩邊”現象；

3.密封高壓頭更經久耐用。低真空 4*10-2mbar時用真空保護（標準機型為結構密封）。

4.碳繩這時候相當于白熾燈的燈絲。“燈絲”的溫度隨著交流電壓的加大而升高。當達到 3000℃ 以上，開始白熾發光的時候，大量的碳原子從"燈絲"表面向任意方向發射。把樣品放在燈絲附近，在樣品表面可以形成致密的碳膜。

5.為了使得樣品不至于被高溫灼燒，蒸碳在瞬間完成（通過調節旋鈕延長保護時間）。

使用說明書并非質量保證書，信息有謬誤支出歡迎更正指導；產品的改進，均由本公司隨時做出解釋，修正內容將編入再版使用說明書中。

一、.使用注意事項

■請確保電源插座接觸良好并且保證有可靠接地！

雖然熱蒸發鍍碳儀的平均電流不大，但瞬時工作電流可能相對較高。

■請確保蒸發鍍碳儀的工作電壓穩定、正常！

我公司標準產品的工作電壓范圍為 ：210V~250V

■電源頻率不匹配會導致儀器損壞！

儀器的使用頻率為 50HZ。

■禁止私自對儀器進行拆卸改裝！

本產品為精密儀器，拆卸不當可能發生真空系統漏氣、設備短路等情況，造成儀器損壞和人員傷亡。

■蒸碳儀在不工作時不要讓真空室一直處于真空狀態！

真空室一直處于真空狀態，真空泵進氣口處于負壓，使得泵油倒灌樣品室。

注意：本產品為精密設備，請勿讓非專業人士操

作，使用過程中操作人員不得離開現場

二、外形及部件名稱（隨機變化略有不同）

1.真空表，2.電流表，3.啟動按鈕， 4.真空指示燈，5.轉換開關（當前為右側），6.延時旋鈕，7.電源

樣品室：（可換裝碳棒電極）

1.保護帽，2.上蓋，3. “凹”型密封圈，4.石英鐘罩，5.碳繩電極，6.擋板，7.底座

1.A/B/C電極，2.真空泵電源，3.接地端子，4.過流保險，5.220V電源,6.短路指示燈，7.擋板

泵和真空管道

1過濾器，2.電磁閥接頭，3.真空泵排氣口卡箍，4.真空泵加油口，5.真空泵放油口，6.真空泵進氣口卡箍，7.自動開關，8.真空管

三、安裝使用說明

儀器的安裝                   

1、打開包裝，檢查儀器是否完好，附件是否齊全

2、清理樣品室，檢查樣品室中是否有異物、粉塵，并清理干凈。

3、把油污過濾器安裝在泵的出氣口，并用 卡箍卡緊。

4、連接真空管道，將 KF16端接儀器，另一端接泵的進氣口，并用卡箍卡緊。

5、將電磁閥的電源線和泵的引出端對插到一起。

6、把泵電源插在主機后面板的泵電源插座上。

7、將蒸發上蓋的蒸發公共端 A、蒸發 B、蒸發 C按顏色對應接在主機后面板的接頭上。

8、將玻璃鐘罩放在主機的底盤上，將熱蒸發上蓋放在主機的玻璃鐘罩上。

9、將總電源線插上。

 10. 碳繩的更換

1.AB段碳繩，2.AC段碳繩，通過轉換開關選擇

用六角扳手將上蓋的三個內六角螺釘擰松，將碳繩按照BAC或CAB的順序依次纏繞在卡槽中，分別擰緊螺釘，將碳繩剪斷即可。

    前面板的“5.轉換開關”，左側對應使用的碳繩為AC段，右側對應使用的碳繩為AB段。

四、技術規格說明

樣品倉尺寸：φ150mmX110mm

蒸發面積：約Φ140mm

真空度：≤4×10-2mbar

工作電壓：220V,50HZ

蒸發輸出：電壓30V

蒸發靶材：碳棒、碳繩

蒸發電流：約100A

五、儀器的使用經驗

理想膜層的特點

1.良好的導熱和導電性能。

2.不管樣品的表面形貌如何，覆蓋在所有部位的膜層需要薄厚均勻。

3.膜層對樣品的化學成分干擾很小，對從樣品中發射的X射線強度影響很弱。

4.這層膜主要增加樣品表面的導電性能和導熱性能，相較于導電金屬膜層的厚度普遍在10nm以上；可提供碳的鍍層，在3-4nm分辨率尺度內不顯示其幾何形貌特點，避免引入不必要的人為圖像，鍍層精細均勻，適合非常粗糙的樣品，高分辨研究。

5.可以噴碳（碳棒或碳繩），有利于對樣品中非碳元素的能譜分析。

6.非導電樣品觀察背散射電子圖像，進行EBSD分析，也應該噴碳處理。

注意：熱蒸發功能容易對樣品產生污染，蒸發溫度過高（例如碳的蒸發溫度為3500K)，會損傷熱敏感材料。

7.真空蒸發鍍層厚度可以通過下面公式進行估算:

T=3/4(M/4πR2ρ)cosθ×10-7（式中2和-7為指數）

其中:

T(nm)為蒸鍍層的厚度；

M(g)為蒸發材料的總質量；

ρ(g/cm3)為蒸發材料的密度；

R(cm)為蒸發源到試樣的距離；

θ(度)為樣品表面法線與蒸發方面的夾角。

使用說明

1、將蒸發上蓋放在主機的玻璃鐘罩上。

2、打開泵開關（泵的使用說明詳見真空泵使用說明書）。

3、放入樣品后，打開電源開關，打開總開關，電源指示燈亮

4、真空表持續升高，大約20Pa時限流保護燈亮，上升至4×10-2mbar時趨于穩定時可以開始啟動蒸碳（真空越高蒸碳的效果越好，所需的等待時間會相對延長，此設備真空不可調節）。

5、旋轉蒸發計時器設定時間：時間范圍：0—1秒；旋轉鈕設有8.

5個擋位對應相應的蒸發時間。

（注意：單次蒸發時間越長對碳繩和碳棒的消耗越大；擋位的選擇：1-4擋蒸發碳膜不太明顯，5-7擋及以上擋位，對應的單次蒸發量沉積在樣品上的碳膜會有明顯的變化。）

6、設定好擋位，按住蒸發“啟動/START”按鈕直至時間結束。

（注意：選擇高擋位長時間蒸碳時，如果多次對同一樣品蒸碳，因為膨脹系數的不同，會有裂紋或是起皮現象，針對不同樣品需要摸索不同的蒸碳條件。）

7、蒸碳完畢，關閉電源，待真空泵上電磁放氣閥放氣結束后，打開上蓋取出樣品，然后閉合上蓋

8、如果不再進行鍍膜，關斷蒸發儀電源。

常見故障排除

故障現象判斷與解決方法

1.真空抽不上去：檢查玻璃鐘罩是否放端正，上蓋是否放端正或者沒有蓋好，電磁閥與泵的對插是否連接好。

2.使用一段時間檢查濺射室中或管道內是否有油，可用汽油、無水酒精、丙酮溶液清洗

3.真空表的指示如有輕微的偏差，不會影響使用。

4.碳繩是否夾緊、熔斷。蒸發AB、AC,公共端是否接好

參考圖片：