溫度控制系統

• 采用PID30段程序化控溫，其控溫精度為+/-1℃

• 控溫儀表操作視頻

• 設有過熱和斷偶保護

• 熱電偶采用K型熱電偶

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真空密封

• 采用KF結構密封法蘭，硅膠密封圈密封

• 法蘭上安裝有一機械壓力表

• 右端法蘭與一個真空不銹鋼波紋管連接（不銹鋼波紋管最大伸縮幅度為150mm)

• 真空度：10-2Torr(用機械泵抽） 10-5Torr(用分子泵抽）

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坩堝移動機構&PLC控制

• 一個直徑為1/4＂的歐米伽鎧裝熱電偶（K型），通過法蘭伸入到爐管中，并可隨坩堝移動，可實時監測樣品的實際溫度。

• 通過步進電機移動爐管內的坩堝（樣品臺），最大行程為100mm，移動精度為1mm

• 通過觸摸屏設定坩堝一定的距離和目標位置，坩堝移動速度為180mm/min(更精確的移動速度，可與本公司聯系定制，需額外收費）

• 可觀察下圖，了解坩堝與熱電偶的安裝方法

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最大加熱速率和冷卻速率

可通過移動樣品到已預加熱的爐體中來得到最大的加熱速率，也可將樣品迅速移除高溫的爐體，來得到最大的降溫速率

可選配件

• 可選購手動擋板閥（圖1）

• 防腐型數顯真空計（圖4）

• 快速連接法蘭，以方便于放置樣品（圖2）

• 多路質量流量計控制的混氣系統，用于CVD和DVD實驗（圖5）

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尺寸

質保

一年質保期，終生維護（不含加熱元件、爐管和密封圈）

質量認證

• CE認證

• 所有電器元件（>24V）都通過UL?/?MET?/?CSA認證

• 若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證
  

注意事項

• 爐管內氣壓不可高于0.02MPa

• 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

• 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態

• 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

• 石英管的長時間使用溫度＜1100℃

• 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等）

應用

• 此款設備可用于多種實驗，以下列出了幾種實驗方法

• RTE（快速熱蒸發）：蒸發料放在坩堝中，放入到爐體中心，基片放在樣品臺上，樣品臺與熱電偶相連接，然后將樣品臺移動到理想的位置（此位置溫度是實驗所需要的溫度）

• HPCVD（混合物理化學沉積）：與RTE相似，但需配混氣系統，對反應氣體混合并控制流量，同時也需設定蒸發料的位置（確定蒸發料的蒸發溫度）

• 水平布里奇曼（Bridgman）法來長晶體：將樣品和籽晶放入到坩堝中，并將坩堝放入到爐體中心位置，然后設定坩堝移動速度，慢慢移動坩堝